[实用新型]210硅片槽式机机械手悬臂装置

权利要求书

1.210硅片槽式机机械手悬臂装置，其特征在于，包括：

竖臂主体(1)，所述竖臂主体(1)顶端的内壁上转动连接有转动轴(101)；

悬臂主体，所述悬臂主体设置在竖臂主体(1)顶部，且设置为锥形，悬臂主体包括悬臂底板(2)，所述悬臂底板(2)的两侧均固定连接有悬臂侧板(201)，且两个悬臂侧板(201)之间固定连接有上面板(202)，所述悬臂底板(2)的前后端分别固定连接有前面板(204)和后面板(203)，且前面板(204)和后面板(203)分别与上面板(202)的前后端固定连接，且悬臂主体的内部设置有加强组件；

挂篮组件，所述挂篮组件设置在悬臂主体的底部，且挂篮组件卡接有多个花篮(302)。

2.根据权利要求1所述的210硅片槽式机机械手悬臂装置，其特征在于：所述挂篮组件包括多个挂架支撑板(3)，多个所述挂架支撑板(3)的外壁上均装配有挂钩板(301)，所述挂钩板(301)的底部设置有挂钩，且所述花篮(302)通过多个挂钩设置在对应的两个挂钩板(301)之间。

3.根据权利要求2所述的210硅片槽式机机械手悬臂装置，其特征在于：所述挂钩板(301)的外壁上设置有压篮保护机构(303)和挂篮感应机构(304)。

4.根据权利要求1所述的210硅片槽式机机械手悬臂装置，其特征在于：所述加强组件包括中部加强筋板(205)，所述中部加强筋板(205)固定连接在上面板(202)与悬臂底板(2)之间，所述中部加强筋板(205)的两侧固定连接有多个“X”型加强板(206)，且多个“X”型加强板(206)之间首尾相连，多个所述“X”型加强板(206)与上面板(202)、悬臂底板(2)和两个悬臂侧板(201)固定连接。

5.根据权利要求1所述的210硅片槽式机机械手悬臂装置，其特征在于：两个所述悬臂侧板(201)相向的一侧均固定连接有不锈钢加强支撑板(207)，所述转动轴(101)的两端分别与两个不锈钢加强支撑板(207)固定连接，所述不锈钢加强支撑板(207)靠内的一侧固定连接有不锈钢加强密封板(208)。

6.根据权利要求5所述的210硅片槽式机机械手悬臂装置，其特征在于：两个不锈钢加强支撑板(207)之间通过螺栓固定连接有水平调节支撑板(209)。

7.根据权利要求1所述的210硅片槽式机机械手悬臂装置，其特征在于：所述上面板(202)通过螺栓嵌设有线路检修板(210)，所述悬臂底板(2)嵌设有多个穿线密封接头(211)。