[实用新型]一种靶材清洗装夹装置

说明书

本实用新型提供一种靶材清洗装夹装置，所述靶材清洗装夹装置包括凹字形的靶材承装部件和夹块，所述夹块安装在靶材承装部件上；所述夹块包括L型装夹口和主体部，所述主体部远离L型装夹口的部分包括弯曲面，所述夹块包括第一夹块、第二夹块和第三夹块。本实用新型所述靶材清洗装夹装置对靶材清洗效果好，并大大节省了人力，而且该靶材清洗装夹装置方便靶材安装和拿取，在清洗过程中能够有效固定靶材。

技术领域

本实用新型涉及靶材清洗技术领域，尤其涉及一种靶材清洗装夹装置。

背景技术

随着半导体行业的快速发展，镀膜材料作为半导体电子器件制造的重要材料，其需求量也日益增加。靶材作为一种重要的镀膜材料，在集成电路、平面显示、太阳能、光学器件等领域具有广泛的应用，其主要制备方法为物理气相沉积法(PVD)，主要包括溅射镀膜、真空蒸镀、等离子体镀膜等，其中最常用的为溅射镀膜法。

在溅射镀膜过程中，靶材直接参与溅射，若靶材的表面附着有油污、灰尘、颗粒状杂质等异物，则会产生电弧放电，导致靶材的一部分变为熔融态并产生向各个方向飞溅的溅沫，所述溅沫附着在基板上或附着在已经成膜的镀膜上，会使镀膜质量下降，从而造成产品合格率下降，并导致生产成本增加。因此，溅射镀膜过程中的靶材的清洁度对于溅射镀膜的质量、产品的合格率以及生产成本均有重要影响。在生产过程中为了保证靶材具有足够的清洁度，需要对靶材进行充分的清洁。

CN101709452A公开了一种铝或铝合金溅射靶材的清洗方法，但该方法仅强调清洗过程对表面处理的情况，并未意识到清洗效率以及清洗装置改进的问题。

CN112191610A公开了一种ITO平面靶材超声波清洗架，包括底板和竖向连接于所述底板上的支撑架，所述支撑架包括相互平行设置的第一支撑架、第二支撑架，所述第一支撑架、第二支撑架上设有竖向的凸齿，相邻的所述凸齿之间形成用于支撑ITO平面靶材的夹持间隙。但该ITO平面靶材超声波清洗架的夹持间隙较小，靶材的安装及拿取较为困难。

CN210966282U公开了一种靶材清洗架，所述靶材清洗架包括底板、竖板、顶板和斜板；所述竖板包括第一竖板和第二竖板；所述斜板包括第一斜板和第二斜板；所述第一竖板和第二竖板垂直设置于所述底板两端；所述顶板与所述底板平行设置并与所述第一竖版和第二竖板的另一端相连接；所述第一斜板的两端与所述底板和所述第一竖板相连接；所述第二斜板的两端与所述底板和所述第二竖板相连接；所述底板上设置有支块；所述斜板上设置有卡槽；所述卡槽上设置有与之相配合的卡块。但是该靶材清洗架中的第一斜板与底板和第一竖板之间的连接效果较差，清洗过程中靶材固定不够稳当，还需进行进一步改进。

因此，开发一种可以提高靶材清洗效果、方便靶材安装和拿取，且能在清洗过程中有效固定靶材的装夹装置具有重要意义。

实用新型内容

鉴于现有技术中存在的问题，本实用新型提供一种靶材清洗装夹装置，所述靶材清洗装夹装置可以达到提高靶材的清洗效果，同时方便靶材安装和拿取，在清洗过程中有效固定靶材。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型提供一种靶材清洗装夹装置，所述靶材清洗装夹装置包括凹字形的靶材承装部件和夹块，所述夹块安装在靶材承装部件上；所述夹块包括L型装夹口和主体部，所述主体部远离L型装夹口的部分包括弯曲面，所述夹块包括第一夹块、第二夹块和第三夹块。

本实用新型所述靶材清洗装夹装置采用三个夹块，可实现对待清洗靶材的有效固定，避免了在清洗过程中靶材出现晃动，影响清洗效果；所述靶材清洗装夹装置中夹块的主体部远离L型装夹口的部分包括弯曲面，方便靶材的安装与拿取，能够大大节省人力。

本实用新型所述夹块的材质为PPS塑料，所述靶材承装部件的材质为304不锈钢。

优选地，所述靶材承装部件包括第一凹字形板材和第二凹字形板材。