[实用新型]一种靶材清洗装夹装置有效
| 申请号： | 202122190328.2 | 申请日： | 2021-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN215696618U | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;王徐 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00;B25B11/00 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 装置 | ||
1.一种靶材清洗装夹装置，其特征在于，所述靶材清洗装夹装置包括凹字形的靶材承装部件和夹块，所述夹块安装在靶材承装部件上；所述夹块包括L型装夹口和主体部，所述主体部远离L型装夹口的部分包括弯曲面，所述夹块包括第一夹块、第二夹块和第三夹块。
2.根据权利要求1所述的靶材清洗装夹装置，其特征在于，所述靶材承装部件包括第一凹字形板材和第二凹字形板材；
所述第一凹字形板材和第二凹字形板材通过夹块连接。
3.根据权利要求1或2所述的靶材清洗装夹装置，其特征在于，所述L型装夹口和主体部之间的夹角为80°～100°。
4.根据权利要求3所述的靶材清洗装夹装置，其特征在于，所述主体部在远离L型装夹口的一侧设置有两个贯通螺孔。
5.根据权利要求4所述的靶材清洗装夹装置，其特征在于，所述两个贯通螺孔之间的中心距为12～18cm。
6.根据权利要求5所述的靶材清洗装夹装置，其特征在于，所述第一夹块和第二夹块对称设置在靶材承装部件靠近靶材的左右两端；
所述第三夹块设置在靶材承装部件的中部。
7.根据权利要求6所述的靶材清洗装夹装置，其特征在于，所述第一夹块的L型装夹口与第二夹块的L型装夹口相对设置。
8.根据权利要求7所述的靶材清洗装夹装置，其特征在于，所述第三夹块的L型装夹口朝上。
9.根据权利要求8所述的靶材清洗装夹装置，其特征在于，所述靶材清洗装夹装置还包括固定支架；
所述固定支架与靶材承装部件相连。
10.根据权利要求9所述的靶材清洗装夹装置，其特征在于，所述固定支架包括竖杆和横杆；
所述竖杆包括第一竖杆和第二竖杆；
所述第一竖杆和第二竖杆分别与靶材承装部件远离靶材的左右两端相连；
所述横杆设置在竖杆的上部。
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