[实用新型]一种刮晶圆边缘残金载台

权利要求书

1.一种刮晶圆边缘残金载台，其特征在于，包括：

载台主体；

工字形支撑架，所述工字形支撑架固定安装于所述载台主体的底部的中心处；

挡柱，所述挡柱固定于所述载台主体的边侧；

手动真空控制阀，所述真空控制阀安装于所述载台主体的底部；

吸笔槽，所述吸笔槽开设于所述载台主体顶部的一侧；

环形凹槽，所述环形凹槽开设于所述载台主体的顶部。

2.根据权利要求1所述的刮晶圆边缘残金载台，其特征在于，所述载台主体顶部的边侧开设有条形凹槽，所述条形凹槽内部设置有连接板，所述挡柱固定于所述连接板上侧的一端。

3.根据权利要求2所述的刮晶圆边缘残金载台，其特征在于，所述载台主体的边侧开设有安装槽，所述安装槽内壁的上侧与所述安装槽的内部连通，所述安装槽的内部固定安装有固定件，所述固定件包括安装筒，所述安装筒的内部设置有活塞块，所述活塞块的顶部固定连接有定位轴，所述定位轴的一端贯穿安装筒的上侧且延伸至安装筒的外部。

4.根据权利要求3所述的刮晶圆边缘残金载台，其特征在于，所述活塞块的下侧设置有弹性件。

5.根据权利要求3所述的刮晶圆边缘残金载台，其特征在于，所述连接板上开设有多个固定孔，所述定位轴的一端延伸至固定孔的内部。

6.根据权利要求1所述的刮晶圆边缘残金载台，其特征在于，所述挡柱的表面套设有连接环，所述连接环表面的一侧固定连接有连接块，所述连接块上开设有通孔。

7.根据权利要求6所述的刮晶圆边缘残金载台，其特征在于，所述连接块上设置有推动轴，所述推动轴的顶端设置有端帽，所述推动轴表面的上侧固定连接有橡胶圈。