[实用新型]一种双工位晶圆片缺陷检测仪

权利要求书

1.一种双工位晶圆片缺陷检测仪，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)顶部中间位置固定安装有固定块(2)，所述固定块(2)顶部固定安装有工作台(3)，所述工作台(3)顶部两侧固定安装有第一放置台(4)，所述工作台(3)中间位置两侧滑动设置有与第一放置台(4)相匹配的第二放置台(5)，所述第一放置台(4)与第二放置台(5)顶部均设置有防护垫，所述工作台(3)一端转动设置有第一旋转柄(6)，所述底座(1)一侧固定安装有支撑杆(7)，所述支撑杆(7)顶部固定安装有承载台(8)，所述承载台(8)底部中间位置两侧滑动设置有镭射光发射器(9)，所述工作台(3)外侧中间位置转动设置第二旋转柄(10)。

2.根据权利要求1所述的一种双工位晶圆片缺陷检测仪，其特征在于：所述第二放置台(5)底部均安装有滑块(11)，所述工作台(3)顶部两侧开设有与滑块(11)相匹配的滑槽(12)。

3.根据权利要求2所述的一种双工位晶圆片缺陷检测仪，其特征在于：所述滑槽(12)内部转动设置有滑块(11)螺纹连接的双向丝杆(13)，所述双向丝杆(13)一端与第一旋转柄(6)固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种双工位晶圆片缺陷检测仪，其特征在于：所述镭射光发射器(9)顶部均设置有活动块(14)，所述承载台(8)底部开设有与活动块(14)相匹配的活动槽(15)。

5.根据权利要求4所述的一种双工位晶圆片缺陷检测仪，其特征在于：所述活动槽(15)内部滑动设置第一L型移动杆(16)与第二L型移动杆(17)，所述第一L型移动杆(16)与第二L型移动杆(17)相对设置，所述第一L型移动杆(16)表面开设有与第二L型移动杆(17)相匹配的通槽。

6.根据权利要求5所述的一种双工位晶圆片缺陷检测仪，其特征在于：所述第一L型移动杆(16)与第二L型移动杆(17)相邻一侧固定设置有齿条(18)，所述活动槽(15)内部中间位置转动设置有与齿条(18)相互啮合的齿轮(19)，所述齿条(18)一端与第二旋转柄(10)固定连接。