[实用新型]刻蚀设备

权利要求书

1.一种刻蚀设备，其特征在于，包括：

装配盒，所述装配盒包括相互连接且沿所述装配盒的高度方向分布的第一盒体部和第二盒体部，所述第二盒体部的底部用于支撑掩模版；

检测部，所述检测部用于设置在所述第一盒体部的一侧，以检测所述第一盒体部处是否有掩模版；

承载台(10)，所述承载台(10)可拆卸地设置在所述装配盒内，通过使预设尺寸的掩模版设置在所述承载台(10)上，以使所述预设尺寸的掩模版的顶端位于所述第一盒体部内；其中，所述预设尺寸的掩模版的厚度小于所述第二盒体部的高度，所述装配盒的高度方向与所述装配盒内的掩模版的厚度方向相同。

2.根据权利要求1所述的刻蚀设备，其特征在于，

所述承载台(10)为板状结构；和/或

所述承载台(10)的外壁与所述装配盒的侧壁接触或间隙配合。

3.根据权利要求1所述的刻蚀设备，其特征在于，所述承载台(10)上具有用于放置所述预设尺寸的掩模版的预设位置，所述刻蚀设备还包括：

限位部，所述限位部沿所述预设位置的周向设置，以对所述预设位置处的掩模版进行限位。

4.根据权利要求3所述的刻蚀设备，其特征在于，所述限位部包括：

至少一个限位柱(21)，当所述限位柱(21)为多个时，多个所述限位柱(21)沿所述预设位置的周向间隔分布；和/或

至少一个限位块，当所述限位块为多个时，多个所述限位块沿所述预设位置的周向间隔分布。

5.根据权利要求4所述的刻蚀设备，其特征在于，多个所述限位柱(21)包括限位柱单元，所述限位柱单元包括两个限位柱组，各个所述限位柱组具有至少一个所述限位柱(21)；

所述预设位置的形状为多边形，所述限位柱单元用于与所述预设位置的多个顶角中的一个所述顶角对应设置，所述限位柱单元的两个所述限位柱组分别设置在相应的所述顶角的两个侧边上；其中，所述限位柱单元为至少一个。

6.根据权利要求4或5所述的刻蚀设备，其特征在于，多个所述限位块包括：

呈条形的第一限位块，所述第一限位块沿所述预设位置的外周边延伸设置；所述第一限位块为至少一个，当所述第一限位块为多个时，多个所述第一限位块沿所述预设位置的周向间隔分布；和/或

第二限位块，所述第二限位块包括相互连接的第一条形块和第二条形块；所述预设位置的形状为多边形，所述第二限位块用于与所述预设位置的多个顶角中的一个所述顶角对应设置，所述第二限位块的所述第一条形块和所述第二条形块分别设置在相应的所述顶角的两个侧边上；其中，所述第二限位块为至少一个。

7.根据权利要求4所述的刻蚀设备，其特征在于，所述承载台(10)的承载面上开设有两个相对设置的第一凹槽(12)，各个所述第一凹槽(12)均设置在所述预设位置的外周边处。

8.根据权利要求3所述的刻蚀设备，其特征在于，所述承载台(10)的承载面上开设有用于容纳所述预设尺寸的掩模版的卡槽，所述卡槽的侧壁与所述预设尺寸的掩模版的外壁接触或间隙配合，以使所述卡槽的侧壁形成所述限位部。

9.根据权利要求8所述的刻蚀设备，其特征在于，所述承载台(10)的承载面上开设有两个相对设置的第二凹槽，各个所述第二凹槽均设置在所述卡槽的外周边处并与所述卡槽连通。

10.根据权利要求1所述的刻蚀设备，其特征在于，所述刻蚀设备包括刻蚀机，所述刻蚀机的工件台和所述装配盒均与6英寸掩模版相适配，所述预设尺寸的掩模版为5英寸掩模版。