[实用新型]一种用于监测机台的FEM运行状况的系统

说明书

本实用新型涉及一种用于监测机台的FEM运行状况的系统，包括源、气体箱、轴引出电极、质量分析磁体、加速筒、FEM、处理室、晶圆盒、操作者界面和计算装置，其中源与轴引出电极的一侧连通，气体箱从轴引出电极的上端吹入气体，轴引出电极的另一侧连接至质量分析磁体的一端，质量分析磁体的另一端连接至加速筒的一端，加速筒的另一端连接至FEM的一端，FEM的另一端与处理室连通，处理室的外侧设置有操作者界面，处理室连接至晶圆盒，计算装置与FEM通信并且被配置为监测FEM的运行状况。通过本实用新型的系统，可以对在机台运行时的FEM的运行状况进行实时监测，并且在FEM出现偏差或宕机的情形下提前进行预警。

技术领域

本实用新型涉及监测系统，并且更具体地，涉及一种用于监测机台的FEM运行状况的系统。

背景技术

机台测机以量测植入控片阻值方式，不能实时反应机台状况，若遇到状况依靠机台自身的报警规则会停止作业，然而，有遇到过FEM(最终能量磁体)中部分线圈宕机的情形，也就是一部分能源提供给装置而无法正常工作，由于机台自身机制在完全宕机的状况下才会进行警报，所以这种只能等待机台发出警报的做法非常被动，因此需要一种能够在FEM出现偏差时就可以提前预警的系统。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种令人期望的用于监测机台的FEM运行状况的系统。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：

根据本实用新型的方面，提供一种用于监测机台的FEM运行状况的系统，包括源、气体箱、轴引出电极、质量分析磁体、加速筒、FEM、处理室、晶圆盒、操作者界面和计算装置，其中源与轴引出电极的一侧连通，气体箱从轴引出电极的上端吹入气体，轴引出电极的另一侧连接至质量分析磁体的一端，质量分析磁体的另一端连接至加速筒的一端，加速筒的另一端连接至FEM的一端，FEM的另一端与处理室连通，处理室的外侧设置有操作者界面，处理室连接至晶圆盒，计算装置与FEM通信并且被配置为监测FEM的运行状况。

在本实用新型的一个实施例中，轴引出电极是三轴引出电极。

在本实用新型的一个实施例中，FEM呈现圆弧状。

在本实用新型的一个实施例中，FEM包括设置在FEM内的第一线圈、第二线圈和霍尔元件，其中第一线圈和第二线圈上下平行布置，霍尔元件探测由第一线圈和第二线圈提供的磁场强度。

在本实用新型的一个实施例中，第一线圈提供第一电流I₁，第二线圈提供第二电流I₂，霍尔元件获得磁场强度B_energy。

在本实用新型的一个实施例中，基于第一电流I₁、第二电流I₂和磁场强度B_energy来计算磁场系数k，其中在第一电流I₁和第二电流I₂相等并且霍尔元件正常的情况下，磁场系数k通过以下公式计算：

在本实用新型的一个实施例中，通过磁场系数k来计算FEM正常运行时的系数k_FEM，其中k_FEM通过以下公式获得：

。

在本实用新型的一个实施例中，计算装置通过监测系数k_FEM的数值来判断FEM是否发生异常。

在本实用新型的一个实施例中，系统还包括警报器，警报器与计算装置连接。

在本实用新型的一个实施例中，当计算装置确定FEM发生异常时通过警报器发出警报。

通过采用上述技术方案，本实用新型相比于现有技术具有如下优点：