[实用新型]一种用于监测机台的FEM运行状况的系统

权利要求书

1.一种用于监测机台的FEM运行状况的系统，其特征在于，包括源、气体箱、轴引出电极、质量分析磁体、加速筒、FEM、处理室、晶圆盒、操作者界面和计算装置，其中所述源与所述轴引出电极的一侧连通，所述气体箱从所述轴引出电极的上端吹入气体，所述轴引出电极的另一侧连接至所述质量分析磁体的一端，所述质量分析磁体的另一端连接至所述加速筒的一端，所述加速筒的另一端连接至所述FEM的一端，所述FEM的另一端与所述处理室连通，所述处理室的外侧设置有所述操作者界面，所述处理室连接至所述晶圆盒，所述计算装置与所述FEM通信并且被配置为监测所述FEM的运行状况。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述轴引出电极是三轴引出电极。

3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述FEM呈现圆弧状。

4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，所述FEM包括设置在所述FEM内的第一线圈、第二线圈和霍尔元件，其中所述第一线圈和所述第二线圈上下平行布置，所述霍尔元件探测由所述第一线圈和所述第二线圈提供的磁场强度。

5.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述第一线圈提供第一电流I₁，所述第二线圈提供第二电流I₂，所述霍尔元件获得磁场强度B_energy。

6.根据权利要求5所述的系统，其特征在于，基于所述第一电流I₁、所述第二电流I₂和所述磁场强度B_energy来计算磁场系数k，其中在所述第一电流I₁和所述第二电流I₂相等并且所述霍尔元件正常的情况下，所述磁场系数k通过以下公式计算：

7.根据权利要求6所述的系统，其特征在于，通过所述磁场系数k来计算所述FEM正常运行时的系数k_FEM，其中k_FEM通过以下公式获得：

。

8.根据权利要求7所述的系统，其特征在于，所述计算装置通过监测所述系数k_FEM的数值来判断所述FEM是否发生异常。

9.根据权利要求8所述的系统，其特征在于，所述系统还包括警报器，所述警报器与所述计算装置连接。

10.根据权利要求9所述的系统，其特征在于，当所述计算装置确定所述FEM发生异常时通过所述警报器发出警报。