[实用新型]一种硅基液晶芯片的测试装置

说明书

本实用新型公开了一种硅基液晶芯片的测试装置，包括：依次设置在入射光光路上的第一准直器、检偏器、复合透镜以及硅基液晶(LCOS)芯片，入射光经所述第一准直器、所述检偏器和所述复合透镜到达所述LCOS芯片，所述LCOS芯片用于对所述入射光进行偏转后出射；出射光包括多种角度；所述装置还包括设置在出射光路上的第二准直器，以及光功率设备；所述复合透镜用于将所述LCOS芯片偏转后的出射光变换为平行的出射光；所述第二准直器用于接收并发出经所述复合透镜的所述平行的出射光；所述光功率设备连接所述第二准直器的输出端，用于采集所述第二准直器发出的出射光的功率。本实用新型的硅基液晶芯片的测试装置结构简单，可快速测量LCOS芯片的光学性能。

技术领域

本实用新型涉及光学技术领域，尤其涉及一种硅基液晶芯片的测试装置。

背景技术

波长选择开关(WSS，Wavelength Selective Switch)具有任意端口波长任意上下行的功能，是可重构光分插复用器(ROADM，Reconfigurable Optical Add-DropMultiplexer)中的重要光器件。为了支持更高调制速率、更多网络通道数以及更高的网络灵活性，人们将目光转向了带宽可调的波长选择开关，比如，基于硅基液晶(LCOS，LiquidCrystal on Silicon)芯片的波长选择开关。

在基于LCOS芯片的波长选择开关中，对LCOS芯片加载一定的周期性图案，可以实现对空间光束的一定偏转，使光信号由波长选择开关的某一端口输出。LCOS芯片上加载的周期性图案，使LCOS芯片上相位成周期性分布，从而产生光栅的衍射特性，使光的能量大致集中从某一角度出射，然而，也会存在一些能量的光从其它角度出射，影响波长选择开关的输出端口和耦合端口之间的隔离度，故需对LCOS芯片偏折后的光信号能量分布进行测试。

实用新型内容

为解决现有存在的技术问题，本实用新型实施例提供一种硅基液晶芯片的测试装置。

为达到上述目的，本实用新型实施例的技术方案是这样实现的：

本实用新型实施例提供一种硅基液晶芯片的测试装置，包括：依次设置在入射光路上的第一准直器、检偏器、复合透镜以及硅基液晶LCOS芯片，入射光经所述第一准直器、所述检偏器和所述复合透镜到达所述LCOS芯片，所述LCOS芯片用于对所述入射光进行偏转后出射；出射光包括多种角度；

所述装置还包括设置在出射光路上的第二准直器，以及光功率设备；

所述复合透镜，用于将所述LCOS芯片偏转后的出射光变换为平行的出射光；

所述第二准直器，用于接收并发出经所述复合透镜的所述平行的出射光；

所述光功率设备，连接所述第二准直器的输出端，用于采集所述第二准直器发出的出射光的功率。

在上述方案中，所述装置还包括可调谐激光器；所述可调谐激光器连接所述第一准直器，用于生成所述入射光。

在上述方案中，所述装置还包括可移动调整架；所述第二准直器设置在所述可移动调整架上。

在上述方案中，所述可移动调整架为高度可调整的可移动调整架，以通过调整所述第二准直器的高度来接收经所述LCOS芯片偏转后的多种角度的出射光。

在上述方案中，所述装置还包括第一上位机，所述第一上位机用于通过LCOS芯片驱动电路对所述LCOS芯片加载周期性驱动图案，以使所述LCOS芯片对所述入射光进行偏转后集中在指定角度出射。

在上述方案中，所述装置还包括第二上位机，所述第二上位机与所述可移动调整架电连接，用于向所述可移动调整架发送指令，所述指令用于所述可移动调整架升高或降低，以调节所述第二准直器的高度。

在上述方案中，所述光功率设备为光功率计。