[实用新型]一种硅基液晶芯片的测试装置

权利要求书

1.一种硅基液晶芯片的测试装置，其特征在于，包括：依次设置在入射光路上的第一准直器、检偏器、复合透镜以及硅基液晶LCOS芯片，入射光经所述第一准直器、所述检偏器和所述复合透镜到达所述LCOS芯片，所述LCOS芯片用于对所述入射光进行偏转后出射；出射光包括多种角度；

所述装置还包括设置在出射光路上的第二准直器，以及光功率设备；

所述复合透镜，用于将所述LCOS芯片偏转后的出射光变换为平行的出射光；

所述第二准直器，用于接收并发出经所述复合透镜的所述平行的出射光；

所述光功率设备，连接所述第二准直器的输出端，用于采集所述第二准直器发出的出射光的功率。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括可调谐激光器；所述可调谐激光器连接所述第一准直器，用于生成所述入射光。

3.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述装置还包括可移动调整架；所述第二准直器设置在所述可移动调整架上。

4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述可移动调整架为高度可调整的可移动调整架，以通过调整所述第二准直器的高度来接收经所述LCOS芯片偏转后的多种角度的出射光。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括第一上位机，所述第一上位机用于通过LCOS芯片驱动电路对所述LCOS芯片加载周期性驱动图案，以使所述LCOS芯片对所述入射光进行偏转后集中在指定角度出射。

6.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述装置还包括第二上位机，所述第二上位机与所述可移动调整架电连接，用于向所述可移动调整架发送指令，所述指令用于所述可移动调整架升高或降低，以调节所述第二准直器的高度。

7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述光功率设备为光功率计。

8.根据权利要求1、2和4至7任一项所述的装置，其特征在于，所述检偏器还位于所述出射光路上，所述第二准直器还用于接收并发出经所述复合透镜和所述检偏器的所述平行的出射光。