[实用新型]一种清洁机构及干法刻蚀设备

权利要求书

1.一种清洁机构，其特征在于，包括：

水平驱动组件(1)，所述水平驱动组件(1)包括两根沿第一水平方向设置的导轨(11)，每根所述导轨(11)均滑动设置有水平滑块(12)；

竖直驱动组件(2)，所述竖直驱动组件(2)包括横梁(21)，所述横梁(21)的两端分别沿竖直方向滑动设置于两个所述水平滑块(12)；

清洁组件(3)，所述清洁组件(3)包括多个沿第二水平方向间隔设置于所述横梁(21)的清洁头(31)，所述清洁头(31)包括本体(311)及设置于所述本体(311)的针头(312)，所述本体(311)连接于所述横梁(21)，所述第二水平方向垂直于所述第一水平方向。

2.根据权利要求1所述的清洁机构，其特征在于，所述清洁组件(3)还包括高压气泵，所述针头(312)包括吹气部(3121)，所述吹气部(3121)设置有吹气孔，所述吹气孔与所述高压气泵连通。

3.根据权利要求1所述的清洁机构，其特征在于，所述清洁组件(3)还包括抽真空件，所述针头(312)包括吸气部(3122)，所述吸气部(3122)设置有吸气孔，所述吸气孔与所述抽真空件连通。

4.根据权利要求1所述的清洁机构，其特征在于，所述清洁头(31)还包括罩体(313)，所述罩体(313)的一端与所述本体(311)连接，所述罩体(313)的另一端设置有开口，所述针头(312)伸出所述开口。

5.根据权利要求4所述的清洁机构，其特征在于，所述针头(312)沿竖直方向朝上设置，所述开口边缘所在高度不高于所述针头(312)的顶端端面所在高度。

6.根据权利要求4所述的清洁机构，其特征在于，所述开口边缘设置有缓冲垫。

7.根据权利要求1所述的清洁机构，其特征在于，所述清洁头(31)还包括弹性件(315)，所述针头(312)沿竖直方向滑动设置于所述本体(311)，所述弹性件(315)的两端分别抵接所述针头(312)及所述本体(311)。

8.根据权利要求1所述的清洁机构，其特征在于，所述本体(311)能够在所述横梁(21)上沿所述第二水平方向滑动。

9.根据权利要求8所述的清洁机构，其特征在于，所述清洁头(31)还包括锁紧件(314)，所述锁紧件(314)连接于所述本体(311)并能够抵靠所述横梁(21)。

10.一种干法刻蚀设备，包括上电极(4)及与所述上电极(4)正对的下电极(5)，所述上电极(4)间隔设置有多个电极孔(41)，其特征在于，还包括如权利要求1-9中任一项所述的清洁机构，两根所述导轨(11)设置于所述上电极(4)的两侧。