[实用新型]探针卡、检测装置及晶圆的检测装置

说明书

本申请公开了一种探针卡、检测装置及晶圆的检测装置，所述探针卡用于检测待测产品的待测部，所述探针卡包括：探针组、探针和底座，所述探针组至少设置有两组，用于同时检测至少两个所述待测部；所述探针有多个，至少两个所述探针构成一个所述探针组：所述探针安装在所述底座上；其中，每个所述探针组内的所有所述探针用于检测同一个所述待测部；不同的所述探针组之间的距离可调。本申请，通过以上方式，实现一个探针卡适用于多种不同规格的待检测产品的检测，节约了成本，提高了测试效率。

技术领域

本申请涉及测试技术领域，尤其涉及一种探针卡、检测装置及晶圆的检测装置。

背景技术

随着社会的进步和工业生产的不断发展，显示面板、电器元件及晶圆等产品的的集成度大大提高，以晶圆为例，晶圆上的元器件数量甚至可以达到数万个，而晶圆要出厂，需要对这些元器件进行检测以保证质量，一般的可以通过测试晶圆上的测试焊盘来达到检测的目的，测试焊盘的数量同样众多，要对所有测试焊盘进行全部检测需要耗费一定的时间，因此高效的对这些集成度高的产品进行相关的电性参数测试显得尤为重要；

以晶圆的测试为例，目前应用比较普遍的有两种方法，一种是利用探针对每一个测试焊盘进行单独测试，但是测试的效率比较低下，需要的时间比较久；另外一种比较高效的测试方法是使用探针卡，探针卡上设有多个探针组，可实现同时对多个测试焊盘的测量，测试效率显著提高，但是这种探针卡无法适用于多种不同规格的晶圆的测试。

实用新型内容

本申请的目的是提供一种探针卡、检测装置及晶圆的检测装置，在同一个探针卡上的多个探针组之间的间距可以进行调节，从而适用于多种待测部间距不同的待测产品，节约成本，提高检测效率。

本申请公开了一种探针卡，用于检测待测产品的待测部，包括：探针组、探针和底座，所述探针组至少设置有两组，用于同时检测至少两个所述待测部；所述探针有多个，至少两个所述探针构成一个所述探针组：所述探针组安装在所述底座上；其中，每个所述探针组内的所有所述探针用于检测同一个所述待测部；不同的所述探针组之间的距离可调。

可选的，所述探针组包括固定探针组和至少一个可移动探针组，所述固定探针组固定在所述底座的一端，所述可移动探针组可移动的设置在所述底座上。

可选的，所述底座上设置有至少两个插块，每个所述插块上设置有至少两个所述探针形成的所述探针组；所述底座上对应每个所述插块至少设置有两个固定通孔，所述插块可拆卸的固定到不同的所述固定通孔。

可选的，所述底座上设置有导轨，所述导轨上设置有至少两个滑块，每个所述滑块上设置有至少两个所述探针形成的所述探针组，所述滑块可滑动的设置在所述导轨上。

可选的，所述导轨包括平行设置的第一子导轨和第二子导轨，所述滑块包括第一连接部和第二连接部，所述第一连接部与所述第一导轨滑动连接，所述第二连接部与所述第二导轨滑动连接。

可选的，所述第一子导轨和所述第二子导轨为互相平行的直线型轨道；所述探针组内的所述探针均可以通过所述滑块在所述直线型轨道移动，实现不同的所述探针组之间的距离可调。

可选的，所述导轨为凸字型导轨或凹字型导轨，所述滑块的下部设置有形状与所述导轨相配合的滑槽。

可选的，所述底座设置有印刷电路板，所述导轨设置在所述印刷电路板上，所述探针通过所述导轨与所述印刷电路板电连接，所述印刷电路板为所述探针提供测试信号。

本申请还公开了一种检测装置，包括上述的所述探针卡、驱动电机、驱动机构以及载物台，所述驱动机构设置在所述导轨上，所述驱动电机与所述驱动机构电连接，以驱动所述探针沿所述导轨移动；所述载物台用于放置所述待测产品，所述待测产品内有多个待检测的待测部；所述载物台可移动，用于所述探针卡检测不同的所述待测部。

本申请还公开了一种晶圆的检测装置，包括上述的所述检测装置，所述待测产品为晶圆，所述待测部为所述晶圆上的测试焊盘。