[实用新型]探针卡、检测装置及晶圆的检测装置

权利要求书

1.一种探针卡，用于检测待测产品的待测部，其特征在于，包括：

探针组，至少设置有两组，用于同时检测至少两个所述待测部；

探针，所述探针有多个，至少两个所述探针构成一个所述探针组；以及

底座，所述探针组安装在所述底座上；

其中，每个所述探针组内的所有所述探针用于检测同一个所述待测部；不同的所述探针组之间的距离可调。

2.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述探针组包括固定探针组和至少一个可移动探针组，所述固定探针组固定在所述底座的一端，所述可移动探针组可移动的设置在所述底座上。

3.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述底座上设置有至少两个插块，每个所述插块上设置有至少两个所述探针形成的所述探针组；

所述底座上对应每个所述插块至少设置有两个固定通孔，所述插块可拆卸的固定到不同的所述固定通孔。

4.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述底座上设置有导轨，所述导轨上设置有至少两个滑块，每个所述滑块上设置有至少两个所述探针形成的所述探针组，所述滑块可滑动的设置在所述导轨上。

5.根据权利要求4所述的探针卡，其特征在于，所述导轨包括平行设置的第一子导轨和第二子导轨，所述滑块包括第一连接部和第二连接部，所述第一连接部与所述第一子导轨滑动连接，所述第二连接部与所述第二子导轨滑动连接。

6.根据权利要求5所述的探针卡，其特征在于，

所述第一子导轨和所述第二子导轨为互相平行的直线型轨道；

所述探针组内的所述探针均可以通过所述滑块在所述直线型轨道移动，实现不同的所述探针组之间的距离可调。

7.根据权利要求4所述的探针卡，其特征在于，所述导轨为凸字型导轨或凹字型导轨，所述滑块的下部设置有形状与所述导轨相配合的滑槽。

8.根据权利要求4所述的探针卡，其特征在于，所述底座设置有印刷电路板，所述导轨设置在所述印刷电路板上，所述探针通过所述导轨与所述印刷电路板电连接，所述印刷电路板为所述探针提供测试信号。

9.一种检测装置，其特征在于，所述检测装置包括如权利要求4-7任意一项所述的探针卡、驱动电机、驱动机构以及载物台，所述驱动机构设置在所述导轨上，所述驱动电机与所述驱动机构电连接，以驱动所述探针沿所述导轨移动；

所述载物台用于放置所述待测产品，所述待测产品内有多个待检测的待测部；

所述载物台可移动，用于所述探针卡检测不同的所述待测部。

10.一种晶圆的检测装置，其特征在于，包括如权利要求9所述的检测装置，所述待测产品为晶圆，所述待测部为所述晶圆上的测试焊盘。