[实用新型]一种适用于真空镀膜机设备安装器件的双重密封结构

说明书

本实用新型涉及真空镀膜机设备技术领域，尤其为一种适用于真空镀膜机设备安装器件的双重密封结构，包括真空腔体、安装器件顶面、安装器件本体、端面密封圈和锁紧螺母，所述真空腔体的内侧滑动连接有安装器件本体，所述安装器件本体的左端面固定连接有安装器件顶面，所述安装器件顶面的右端面与真空腔体的左端面相贴合，所述安装器件本体的外侧螺旋连接有锁紧螺母，且锁紧螺母的左端面与真空腔体的右端面相贴合，所述安装器件本体的外侧套接有轴密封圈，本实用新型中，通过设置的端面密封圈和双层的轴密封圈，达到多重密封的效果，可以有效的提高设备整体的密封性能，能够提高产品质量，给客户降低维护成本，提高了生产效率。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机设备技术领域，具体为一种适用于真空镀膜机设备安装器件的双重密封结构。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，真空指标对产品质量起着决定性的作用，如果设备密封性能不好，直接影响着产品的质量，随着社会的发展，对真空镀膜机设备的应用愈加广泛，因此，因此，提高安装器件的密封性，对于设备的可靠性和稳定性有着重要的意义，一般的真空镀膜机只使用端面密封结构，由于采用橡胶密封材料易老化，无法有效的保证设备整体的密封性，对真空度影响很大，严重影响着产品的质量，因此，针对上述问题提出一种适用于真空镀膜机设备安装器件的双重密封结构。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种适用于真空镀膜机设备安装器件的双重密封结构，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种适用于真空镀膜机设备安装器件的双重密封结构，包括真空腔体、安装器件顶面、安装器件本体、端面密封圈和锁紧螺母，所述真空腔体的内侧滑动连接有安装器件本体，所述安装器件本体的左端面固定连接有安装器件顶面，所述安装器件顶面的右端面与真空腔体的左端面相贴合，所述安装器件本体的外侧螺旋连接有锁紧螺母，且锁紧螺母的左端面与真空腔体的右端面相贴合，所述安装器件本体的外侧套接有轴密封圈。

优选的，所述端面密封圈的内径与安装器件本体的外径相同，且端面密封圈的左端与安装器件顶面的右端面相贴合。

优选的，所述安装器件本体的外侧开设有安装槽，且轴密封圈通过安装槽与安装器件本体相贴合。

优选的，所述轴密封圈和安装槽的数量分别各有两个，且轴密封圈的外端面与真空腔体的内侧相贴合。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型中，通过设置的端面密封圈和双层的轴密封圈搭配使用，达到多重密封的效果，可以有效的提高设备整体的密封性能，能够提高产品质量，给客户降低维护成本，提高了生产效率。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为本实用新型图1的A处结构示意图；

图3为本实用新型现有技术示意图。

图中：1-真空腔体、2-安装器件顶面、3-安装器件本体、4-端面密封圈、 5-锁紧螺母、6-轴密封圈、7-安装槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。