[实用新型]一种适用于真空镀膜机设备安装器件的双重密封结构

权利要求书

1.一种适用于真空镀膜机设备安装器件的双重密封结构，包括真空腔体(1)、安装器件顶面(2)、安装器件本体(3)、端面密封圈(4)和锁紧螺母(5)，其特征在于：所述真空腔体(1)的内侧滑动连接有安装器件本体(3)，所述安装器件本体(3)的左端面固定连接有安装器件顶面(2)，所述安装器件顶面(2)的右端面与真空腔体(1)的左端面相贴合，所述安装器件本体(3)的外侧螺旋连接有锁紧螺母(5)，且锁紧螺母(5)的左端面与真空腔体(1)的右端面相贴合，所述安装器件本体(3)的外侧套接有轴密封圈(6)。

2.根据权利要求1所述的一种适用于真空镀膜机设备安装器件的双重密封结构，其特征在于：所述端面密封圈(4)的内径与安装器件本体(3)的外径相同，且端面密封圈(4)的左端与安装器件顶面(2)的右端面相贴合。

3.根据权利要求1所述的一种适用于真空镀膜机设备安装器件的双重密封结构，其特征在于：所述安装器件本体(3)的外侧开设有安装槽(7)，且轴密封圈(6)通过安装槽(7)与安装器件本体(3)相贴合。

4.根据权利要求3所述的一种适用于真空镀膜机设备安装器件的双重密封结构，其特征在于：所述轴密封圈(6)和安装槽(7)的数量分别各有两个，且轴密封圈(6)的外端面与真空腔体(1)的内侧相贴合。