[实用新型]一种晶圆外观检测模组及晶圆外观检测设备

说明书

本实用新型公开了一种晶圆外观检测模组及晶圆外观检测设备，属于晶圆检测技术领域，其通过支架结构的对应设置，利用支架上第一安装板、第二安装板、2D相机安装架等结构的对应匹配，可实现2D相机和3D相机在晶圆外观检测模组上的同时设置，使得晶圆外观检测模组可以同时进行待测晶圆不同缺陷的检测。本实用新型的晶圆外观检测模组，其结构简单，设置简便，能实现2D相机和3D相机的同时设置，满足待测晶圆的不同检测需求，避免了晶圆外观检测设备中检测模组的频繁更换和待测晶圆的多次移动定位，简化了晶圆外观检测的工序，提升了晶圆外观检测的效率和质量，降低了晶圆的生产和应用成本，具有较好的应用前景和推广价值。

技术领域

本实用新型属于晶圆检测技术领域，具体涉及一种晶圆外观检测模组及晶圆外观检测设备。

背景技术

随着电子产品的快速发展，电子市场对于晶圆的需求量日益增大，对晶圆的产品质量、产品规格、制备工艺等提出了更高的要求。

在晶圆的生产过程中，晶圆的检测过程是必不可少的，其往往关系着晶圆后续使用的可靠性和准确性。目前，针对晶圆检测的设备种类繁多，可以在一定程度上满足晶圆产品的检测过程。但是，现有技术中的晶圆检测设备往往型号较为单一、固定，大多只能针对性地检测某种晶圆的缺陷或者单一地检测晶圆某种缺陷，导致晶圆的检测效率较低，无法充分满足晶圆生产过程中多种阶段的检测，制约了晶圆检测的效率和成本。

实用新型内容

针对现有技术的以上缺陷或改进需求中的一种或者多种，本实用新型提供了一种晶圆外观检测模组及晶圆外观检测设备，能同时实现2D相机和3D相机在检测模组上的应用，无需频繁更换设备上的检测模组便能实现晶圆多种缺陷的检测，提升晶圆检测设备的功能性和兼容性。

为实现上述目的，本实用新型的一个方面，提供一种晶圆外观检测模组，其包括支架；

所述支架包括第一安装板，该第一安装板的一侧设置有至少一个用于安装2D相机的2D相机安装架，且所述第一安装板上设置有至少一个所述2D相机。

作为本实用新型的进一步改进，在所述第一安装板背离所述2D相机安装架的一侧还设置有第二安装板；

所述第二安装板与所述第一安装板间隔设置，两者之间通过若干连接板连接，并在两者之间形成有用于3D相机安装的安装空间。

作为本实用新型的进一步改进，所述2D相机安装架为对称设置的两个，并分别设置有相同的2D相机。

作为本实用新型的进一步改进，所述2D相机安装架包括第一旋转板；

所述第一旋转板的一侧与所述第一安装板铰接设置，使得该第一旋转板和连接于该第一旋转板上的2D相机可相对所述第一安装板的板面进行旋转。

作为本实用新型的进一步改进，所述2D相机安装架还包括安装支板和用于2D相机安装的第二旋转板；

所述安装支板的一侧固定在所述第一旋转板上，且所述第二旋转板以其一侧铰接在该安装支板背离所述第一旋转板的一侧，使得第二旋转板以及安装于该第二旋转板上的2D相机可相对所述安装支板的板面进行旋转。

作为本实用新型的进一步改进，所述安装支板的板面垂直于所述第一旋转板的板面。

作为本实用新型的进一步改进，对应所述第一旋转板背离铰接位置的一端设置有连接件，使得该第一旋转板的自由端可与第一安装板限位连接；

和/或

对应所述第二旋转板背离铰接位置的一端设置有连接件，使得该第二旋转板的自由端可与安装支板限位连接。

作为本实用新型的进一步改进，所述第一安装板的底部设置有至少一个氮气吹嘴，用于对待测晶圆表面进行吹扫除尘。