[实用新型]一种晶圆外观检测模组及晶圆外观检测设备

权利要求书

1.一种晶圆外观检测模组，其特征在于，包括支架；

所述支架包括第一安装板，该第一安装板的一侧设置有至少一个用于安装2D相机的2D相机安装架，且所述第一安装板上设置有至少一个所述2D相机。

2.根据权利要求1所述的晶圆外观检测模组，其中，在所述第一安装板背离所述2D相机安装架的一侧还设置有第二安装板；

所述第二安装板与所述第一安装板间隔设置，两者之间通过若干连接板连接，并在两者之间形成有用于3D相机安装的安装空间。

3.根据权利要求1所述的晶圆外观检测模组，其中，所述2D相机安装架为对称设置的两个，并分别设置有相同的2D相机。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的晶圆外观检测模组，其中，所述2D相机安装架包括第一旋转板；

所述第一旋转板的一侧与所述第一安装板铰接设置，使得该第一旋转板和连接于该第一旋转板上的2D相机可相对所述第一安装板的板面进行旋转。

5.根据权利要求4所述的晶圆外观检测模组，其中，所述2D相机安装架还包括安装支板和用于2D相机安装的第二旋转板；

所述安装支板的一侧固定在所述第一旋转板上，且所述第二旋转板以其一侧铰接在该安装支板背离所述第一旋转板的一侧，使得第二旋转板以及安装于该第二旋转板上的2D相机可相对所述安装支板的板面进行旋转。

6.根据权利要求5所述的晶圆外观检测模组，其中，所述安装支板的板面垂直于所述第一旋转板的板面。

7.根据权利要求5所述的晶圆外观检测模组，其中，对应所述第一旋转板背离铰接位置的一端设置有连接件，使得该第一旋转板的自由端可与第一安装板限位连接；

和/或

对应所述第二旋转板背离铰接位置的一端设置有连接件，使得该第二旋转板的自由端可与安装支板限位连接。

8.根据权利要求1～3、5～7中任一项所述的晶圆外观检测模组，其中，所述第一安装板的底部设置有至少一个氮气吹嘴，用于对待测晶圆表面进行吹扫除尘。

9.根据权利要求8所述的晶圆外观检测模组，其中，对应所述氮气吹嘴在所述第一安装板的底部设置有灰尘收集装置，用于收集该氮气吹嘴吹起的灰尘。

10.一种晶圆外观检测设备，包括检测工位，其特征在于，所述检测工位上设置有如权利要求1～9中任一项所述的晶圆外观检测模组。