[实用新型]一种具有防误触结构的直流磁控溅射电源

权利要求书

1.一种具有防误触结构的直流磁控溅射电源，包括保护外壳(1)、隔离握持机构(4)、滑动保护机构(5)和内置散热机构(6)，其特征在于：所述保护外壳(1)的两侧设置有隔离握持机构(4)，所述保护外壳(1)的内部设置有滑动保护机构(5)，所述滑动保护机构(5)的内部设置有内置散热机构(6)；

所述滑动保护机构(5)包括：

内置电源(501)，其设置于所述保护外壳(1)的内部；

滑槽(502)，其设置于所述内置电源(501)的两侧内壁；

拉槽(503)，其设置于所述内置电源(501)的一侧额内壁；

操作面(504)，其设置于所述内置电源(501)的顶面外壁。

2.根据权利要求1所述的一种具有防误触结构的直流磁控溅射电源，其特征在于：所述内置电源(501)通过滑槽(502)与保护外壳(1)构成滑动结构，且拉槽(503)与内置电源(501)之间为固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种具有防误触结构的直流磁控溅射电源，其特征在于：所述保护外壳(1)包括：

通风孔(2)，其设置于所述保护外壳(1)的两侧外壁；

底座(3)，其设置于所述保护外壳(1)的底端外壁。

4.根据权利要求3所述的一种具有防误触结构的直流磁控溅射电源，其特征在于：所述保护外壳(1)与底座(3)之间为固定连接，且通风孔(2)沿着保护外壳(1)两侧内壁对称分布。

5.根据权利要求3所述的一种具有防误触结构的直流磁控溅射电源，其特征在于：所述隔离握持机构(4)包括：

隔离支架(401)，其设置于所述底座(3)的顶面两侧；

握柄(402)，其设置于所述隔离支架(401)的顶端；

底垫(403)，其设置于所述底座(3)的底端外壁。

6.根据权利要求5所述的一种具有防误触结构的直流磁控溅射电源，其特征在于：所述底垫(403)四周尺寸与底座(3)四周尺寸相匹配，且隔离支架(401)与握柄(402)、底座(3)之间为固定连接。

7.根据权利要求1所述的一种具有防误触结构的直流磁控溅射电源，其特征在于：所述内置散热机构(6)包括：

电源内室(601)，其设置于所述滑动保护机构(5)的内部；

电机(602)，其设置于所述电源内室(601)的两侧；

扇叶(603)，其连接于所述电机(602)的一端；

散热孔(604)，其设置于所述滑动保护机构(5)的两侧内壁。

8.根据权利要求7所述的一种具有防误触结构的直流磁控溅射电源，其特征在于：所述扇叶(603)通过电机(602)与电源内室(601)构成旋转结构，且扇叶(603)、电机(602)沿着电源内室(601)两侧对称分布。