[实用新型]一种氦质谱检漏设备

说明书

本实用新型公开了一种氦质谱检漏设备，包括检测壳体，所述检测壳体上安装有至少一个真空箱，所述检测壳体的后侧具有用于真空箱抽真空的抽空系统，所述真空箱的后侧具有电控柜、检漏仪、气瓶组件和充氦回收系统，所述充氦回收系统包括回收架，所述回收架上安装有低压罐、压缩机、回收泵、高压罐，所述高压罐用于将氦气输送至工件内侧，所述回收泵用于将工件内的氦气回收至低压罐内，所述压缩机用于将低压罐内的氦气压缩后输送至高压罐的内侧。本实用新型中，通过充氦回收系统以保持高压罐内的氦气有足够的压力和浓度，实现氦气的良好回收以及保证高压罐具有稳定的压力以及氦气浓度。

技术领域

本实用新型涉及氦质谱检漏技术领域，尤其涉及一种氦质谱检漏设备。

背景技术

氦质谱检漏为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪，氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。

在对工件进行质谱漏检后，需要将工件内的氦气进行回收，传统的氦质谱漏检设备大多难以实现氦气的良好回收以及难以保证高压罐具有稳定的压力以及氦气浓度，从而导致工件的检测效果降低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：为了解决传统的氦质谱漏检设备大多难以实现氦气的良好回收以及难以保证高压罐具有稳定的压力以及氦气浓度的问题，而提出的一种氦质谱检漏设备。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种氦质谱检漏设备，包括检测壳体，所述检测壳体上安装有至少一个真空箱，所述检测壳体的后侧具有用于真空箱抽真空的抽空系统，所述真空箱的后侧具有电控柜、检漏仪、气瓶组件和充氦回收系统，所述充氦回收系统包括回收架，所述回收架上安装有低压罐、压缩机、回收泵、高压罐，所述高压罐用于将氦气输送至工件内侧，所述回收泵用于将工件内的氦气回收至低压罐内，所述压缩机用于将低压罐内的氦气压缩后输送至高压罐的内侧，所述高压罐上安装有用于氦气浓度检测的氦浓度仪和用于压力检测的压力传感器，所述气瓶组件与低压罐连接。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述抽空系统包括泵架，所述泵架上安装有用于真空箱和工件抽真空的罗茨泵和机械泵。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述压缩机与高压罐之间连接有过滤器。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述氦浓度仪和压力传感器的输出端均与电控柜电性连接。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述检测壳体的后侧靠近抽空系统、电控柜、检漏仪、气瓶组件和充氦回收系统的外侧具有围栏。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述氦质谱检漏设备可用于水冷板、汽车加油管、汽车燃油箱和汽车空调管路等的氦质谱漏检。

综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：

检测完毕后，工件内氦气自动流入低压下的低压罐中，并且，通过回收泵抽出工件内剩余氦气送入低压罐，同时，压缩机将低压罐内的氦气压缩至高压罐，因为氦气不可能100％回收，通过压力传感器和氦浓度仪对高压罐内的压力和氦气浓度进行检测，当高压罐内压力或浓度低于规定值时，打开气瓶组件与低压罐之间控制阀，将氦气倒入低压罐内，再通过压缩机压缩后导入高压罐内，以保持高压罐内的氦气有足够的压力和浓度，实现氦气的良好回收以及保证高压罐具有稳定的压力以及氦气浓度。

附图说明

图1示出了根据本实用新型的立体结构示意图；

图2示出了根据本实用新型的俯视示意图；