[实用新型]一种氦质谱检漏设备

权利要求书

1.一种氦质谱检漏设备，包括检测壳体(1)，其特征在于，所述检测壳体(1)上安装有至少一个真空箱(2)，所述检测壳体(1)的后侧具有用于真空箱(2)抽真空的抽空系统(7)，所述真空箱(2)的后侧具有电控柜(5)、检漏仪(6)、气瓶组件(8)和充氦回收系统(4)，所述充氦回收系统(4)包括回收架(401)，所述回收架(401)上安装有低压罐(402)、压缩机(403)、回收泵(404)、高压罐(405)，所述高压罐(405)用于将氦气输送至工件内侧，所述回收泵(404)用于将工件内的氦气回收至低压罐(402)内，所述压缩机(403)用于将低压罐(402)内的氦气压缩后输送至高压罐(405)的内侧，所述高压罐(405)上安装有用于氦气浓度检测的氦浓度仪(407)和用于压力检测的压力传感器，所述气瓶组件(8)与低压罐(402)连接。

2.根据权利要求1所述的一种氦质谱检漏设备，其特征在于，所述抽空系统(7)包括泵架(701)，所述泵架(701)上安装有用于真空箱(2)和工件抽真空的罗茨泵(702)和机械泵(703)。

3.根据权利要求1所述的一种氦质谱检漏设备，其特征在于，所述压缩机(403)与高压罐(405)之间连接有过滤器(406)。

4.根据权利要求1所述的一种氦质谱检漏设备，其特征在于，所述氦浓度仪(407)和压力传感器的输出端均与电控柜(5)电性连接。

5.根据权利要求1所述的一种氦质谱检漏设备，其特征在于，所述检测壳体(1)的后侧靠近抽空系统(7)、电控柜(5)、检漏仪(6)、气瓶组件(8)和充氦回收系统(4)的外侧具有围栏(3)。

6.根据权利要求1所述的一种氦质谱检漏设备，其特征在于，所述氦质谱检漏设备可用于水冷板、汽车加油管、汽车燃油箱和汽车空调管路等的氦质谱漏检。