[实用新型]一种切割机外接加药装置有效
| 申请号： | 202121892927.2 | 申请日： | 2021-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN215703030U | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 徐晓枫;唐伟炜;丁海春;周仪;张竞扬;徐明广;龚凯;吴庆华;柯军松;李广钦;刘阳;孙涛;戴文兵;张世铭;叶沛 | 申请（专利权）人： | 合肥速芯微电子有限责任公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海和华启核知识产权代理有限公司 31339 | 代理人： | 李韶娟 |
| 地址： | 230001 安徽省合肥市高新区创*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 切割机 外接 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种切割机外接加药装置，其特征在于，包括箱体，所述箱体内通过隔板分为混合室和电气室，所述混合室内固定设置有混合管道，所述混合管道两端分别设置有去离子水进管以及清洗水出管，所述混合管道中部通过注液管道连接有用于加注清洗液的LMI流量泵，且所述LMI流量泵控制端连接有用于控制所述LMI流量泵运行的电气控制件，所述注液管道与所述清洗水出管之间设置有用于清洗液和去离子水混合的管道混合器，且所述管道混合器安装在所述混合管道上。
2.如权利要求1所述的切割机外接加药装置，其特征在于，所述箱体侧面上设置有三个管路接口以及一个电线安装接口，三个所述管路接口分别与清洗水出管、LMI流量泵进液端以及去离子水进管连接，所述电线安装接口用于供电电线的安装。
3.如权利要求1所述的切割机外接加药装置，其特征在于，所述电气控制件包括控制模块，所述控制模块输出端与所述LMI流量泵连接，所述控制模块输入端设置有用于检测去离子水流动状态的水流感应开关。
4.如权利要求1所述的切割机外接加药装置，其特征在于，所述注液管与所述混合管道之间设置有单向阀。
5.如权利要求1所述的切割机外接加药装置，其特征在于，所述箱体上活动设置有密封盖，且所述密封盖通过紧固螺钉可拆卸安装在所述箱体上。
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