[实用新型]一种MOCVD系统用的滤芯组件

说明书

本实用新型公开了一种MOCVD系统用的滤芯组件，包括上安装板、下安装板和中心龙骨，上安装板上设置有中心通孔，中心龙骨包括顶板、底板和连接顶板和底板之间的若干根连接螺杆，顶板和底板之间焊接有若干根支撑杆，支撑杆位于连接螺杆的外侧，连接螺杆的上端和下端分别贯穿所述上安装板和下安装板并螺栓固定，中心龙骨的外部套装有滤料筒，滤料筒由折叠的滤料围成，滤料筒的外部套装有不锈钢滤筒，不锈钢滤筒通过固定结构安装于上安装板和下安装板之间，上安装板和下安装板上位于不锈钢滤筒的外侧设置有与补气冷却系统连通的多个补气口。该滤芯组件能够满足MOCVD系统中的尾气过滤，使用寿命更长。

技术领域

本实用新型涉及一种滤芯组件，用于MOCVD气相外延生长系统上的专用滤芯组件。

背景技术

MOCVD是在气相外延生长(VPE)的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。MOCVD是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有机化合物和V、Ⅵ族元素的氢化物等作为晶体生长源材料，以热分解反应方式在衬底上进行气相外延，生长各种Ⅲ-V主族、Ⅱ-Ⅵ副族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料。而该系统中，反应室是由石英管和石墨基座组成。为了生长组分均匀、超薄层、异质结构的化合物半导体材料，反应室内在工作过程中会出现一些残余物质，这些物质一般需要进行清理，而目前的清理一般是利用有一定腐蚀性的气体氯气对其进行高温吹扫，在腐蚀的过程中使杂质脱落，因此，在清理的过程中就会产生一些颗粒物，这些颗粒物都是有毒有害的颗粒物，需要对其进行过滤，而由于清理的过程中，氯气需要在较高的温度下(600℃左右)才能有吹扫腐蚀效果，因此，在过滤的过程中，气体的温度是比较高的，这样就会使用于过滤的滤芯使用寿命降低，另外，由于反应腔的体积并不大，而氯气的使用量需要尽可能的少，这样才能有效的控制成本，但是过滤器的使用又需要足够的风量才能保证颗粒物能随风流动而通过滤芯，而目前市面上的普通滤芯是难以满足上述条件。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种MOCVD系统用的滤芯组件，该滤芯组件能够满足MOCVD系统中的尾气过滤，使用寿命更长。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种MOCVD系统用的滤芯组件，包括上安装板、下安装板和安装于上安装板和下安装板之间的中心龙骨，所述上安装板上设置有中心通孔，所述中心龙骨包括顶板、底板和连接顶板和底板之间的若干根连接螺杆，所述顶板和底板之间焊接有若干根支撑杆，所述支撑杆位于连接螺杆的外侧，所述连接螺杆的上端和下端分别贯穿所述上安装板和下安装板并螺栓固定，所述中心龙骨的外部套装有滤料筒，所述滤料筒由折叠的滤料围成，所述滤料筒的外部套装有不锈钢滤筒，不锈钢滤筒通过固定结构安装于上安装板和下安装板之间，所述上安装板和下安装板上位于不锈钢滤筒的外侧设置有与补气冷却系统连通的多个补气口。

作为一种优选的方案，所述固定结构包括设置于上安装板的上固定环、设置于下安装板的下固定环，上固定环和下固定环同心设置，所述不锈钢滤筒的上端和下端处于上固定环和下固定环之间且由上安装板和下安装板轴向固定。

作为一种优选的方案，所述顶板和底板的形状相同，所述顶板包括圆环状的顶板本体，所述顶板本体的外周圆周均布有向外径向凸伸的上凸伸部，所述底板包括圆环状的底板本体，所述底板本体的外周圆周均布有向外径向凸伸的下凸伸部，所述上凸伸部和下凸伸部一一对应设置，每根支撑杆固定在对应的上凸伸部和下凸伸部之间，每根支撑杆均位于滤料筒的折叠槽内。

作为一种优选的方案，所述顶板和底板均为不锈钢材质的顶板和底板，所述支撑杆为不锈钢支撑杆，所述支撑杆焊接固定在上凸伸部和下凸伸部之间。

作为一种优选的方案，所述滤料筒的上部和下部分别设置有上加强板和下加强板，所述上加强板和下加强板分别紧贴所述上安装板和下安装板，所述上凸伸部和下凸伸部位于滤料筒的折叠槽内。

作为一种优选的方案，所述连接螺杆上位于上安装板和顶板之间、位于下安装板和底板之间安装有胶垫。

作为一种优选的方案，所述滤料为掺杂有不锈钢丝的玻纤纤维布。