[实用新型]一种MOCVD系统用的滤芯组件

权利要求书

1.一种MOCVD系统用的滤芯组件，其特征在于：包括上安装板、下安装板和安装于上安装板和下安装板之间的中心龙骨，所述上安装板上设置有中心通孔，所述中心龙骨包括顶板、底板和连接顶板和底板之间的若干根连接螺杆，所述顶板和底板之间焊接有若干根支撑杆，所述支撑杆位于连接螺杆的外侧，所述连接螺杆的上端和下端分别贯穿所述上安装板和下安装板并螺栓固定，所述中心龙骨的外部套装有滤料筒，所述滤料筒由折叠的滤料围成，所述滤料筒的外部套装有不锈钢滤筒，不锈钢滤筒通过固定结构安装于上安装板和下安装板之间，所述上安装板和下安装板上位于不锈钢滤筒的外侧设置有与补气冷却系统连通的多个补气口。

2.如权利要求1所述的一种MOCVD系统用的滤芯组件，其特征在于：所述固定结构包括设置于上安装板的上固定环、设置于下安装板的下固定环，上固定环和下固定环同心设置，所述不锈钢滤筒的上端和下端处于上固定环和下固定环之间且由上安装板和下安装板轴向固定。

3.如权利要求2所述的一种MOCVD系统用的滤芯组件，其特征在于：所述顶板和底板的形状相同，所述顶板包括圆环状的顶板本体，所述顶板本体的外周圆周均布有向外径向凸伸的上凸伸部，所述底板包括圆环状的底板本体，所述底板本体的外周圆周均布有向外径向凸伸的下凸伸部，所述上凸伸部和下凸伸部一一对应设置，每根支撑杆固定在对应的上凸伸部和下凸伸部之间，每根支撑杆均位于滤料筒的折叠槽内。

4.如权利要求3所述的一种MOCVD系统用的滤芯组件，其特征在于：所述顶板和底板均为不锈钢材质的顶板和底板，所述支撑杆为不锈钢支撑杆，所述支撑杆焊接固定在上凸伸部和下凸伸部之间。

5.如权利要求4所述的一种MOCVD系统用的滤芯组件，其特征在于：所述滤料筒的上部和下部分别设置有上加强板和下加强板，所述上加强板和下加强板分别紧贴所述上安装板和下安装板，所述上凸伸部和下凸伸部位于滤料筒的折叠槽内。

6.如权利要求5所述的一种MOCVD系统用的滤芯组件，其特征在于：所述连接螺杆上位于上安装板和顶板之间、位于下安装板和底板之间安装有胶垫。

7.如权利要求6所述的一种MOCVD系统用的滤芯组件，其特征在于：所述滤料为掺杂有不锈钢丝的玻纤纤维布。