[实用新型]单晶炉前端装置

说明书

本实用新型涉及一种单晶炉前端装置，其包括多个用于回收单晶炉排放的部分氩尾气的分区域独立回收单元、多个用于对氩尾气进行增压的独立增压单元、多个用于对氩尾气的氧含量进行检测的氧含量检测单元、多个用于放空氩尾气的独立放空单元；并行设置的各个分区域独立回收单元的输入侧分别与单晶炉的输出侧相连接，独立增压单元的输入侧与分区域独立回收单元的输出侧一一对应串联，每个独立增压单元的输出侧分支为第一支路和第二支路，第一支路与各个独立放空单元的输入侧一一对应连接，第二支路均与氩气净化系统相连接，氧含量检测单元与独立增压单元的输出侧一一对应连接。本实用新型能够针对单晶炉输出的氩尾气进行处理，避免影响氩气回收提纯。

技术领域

本实用新型涉及工业尾气处理技术领域，具体涉及一种用于对单晶炉输出的氩尾气进行处理的单晶炉前端装置。

背景技术

现有技术中，单晶炉排放的氩尾气直接送入氩气净化系统中以回收提纯氩气。由于单晶炉所排放的氩尾气组分时时变化，使得某些时段送入氩气净化系统中的氩尾气无法达到所需要求，影响氩气净化系统的正常工作，无法实现氩气回收提纯。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种能够针对单晶炉输出的氩尾气进行处理，以避免影响后续氩气回收提纯的单晶炉前端装置。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

一种单晶炉前端装置，设置于单晶炉系统与氩气净化系统之间，所述单晶炉前端装置包括多个用于回收所述单晶炉系统排放的部分氩尾气的分区域独立回收单元、多个用于对所述分区域独立回收单元输出的氩尾气进行增压的独立增压单元、多个用于对所述独立增压单元输出的氩尾气的氧含量进行检测的氧含量检测单元、多个用于放空所述独立增压单元输出的氩尾气的独立放空单元；

各个所述分区域独立回收单元的输入侧分别与所述单晶炉系统的输出侧相连接且各个所述分区域独立回收单元并行设置，所述独立增压单元的输入侧与所述分区域独立回收单元的输出侧一一对应串联，每个所述独立增压单元的输出侧均分支为第一支路和第二支路，所述第一支路与所述各个所述独立放空单元的输入侧一一对应连接，所述第二支路均与所述氩气净化系统的输入侧相连接，所述氧含量检测单元与所述独立增压单元的输出侧一一对应连接。

每个所述独立增压单元包括两台并行设置且一备一用的增压风机。

所述单晶炉前端装置还包括多个用于对所述独立增压单元输出的氩尾气的压力进行检测的压力检测单元，所述压力检测单元与所述独立增压单元的输入侧、输出侧一一对应连接。

所述单晶炉前端装置还包括多个铂热电阻，所述铂热电阻与所述独立增压单元的输入侧、输出侧一一对应连接。

所述单晶炉前端装置还包括冷却单元，各个所述第二支路汇总后经所述冷却单元与所述氩气净化系统的输入侧相连接。

所述冷却单元包括两台并行设置且一备一用的冷却器。

所述单晶炉前端装置还包括根据各个所述氧含量检测单元输出的检测结果控制对应所述独立放空单元是否工作的控制单元，所述控制单元分别与各个所述氧含量检测单元、各个所述独立放空单元相连接。

所述单晶炉前端装置还包括与所述控制单元相连接并能够向工作人员发送告警信息的通信单元。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：本实用新型能够针对部分单晶炉输出的氩尾气氧含量超标情况进行处理，使得氩气回收提纯系统依然可以连续稳定运行。

附图说明

附图1为本实用新型的单晶炉前端装置的示意图。

具体实施方式

下面结合附图所示的实施例对本实用新型作进一步描述。