[实用新型]单晶炉前端装置

权利要求书

1.一种单晶炉前端装置，设置于单晶炉系统与氩气净化系统之间，其特征在于：所述单晶炉前端装置包括多个用于回收所述单晶炉系统排放的部分氩尾气的分区域独立回收单元、多个用于对所述分区域独立回收单元输出的氩尾气进行增压的独立增压单元、多个用于对所述独立增压单元输出的氩尾气的氧含量进行检测的氧含量检测单元、多个用于放空所述独立增压单元输出的氩尾气的独立放空单元；

各个所述分区域独立回收单元的输入侧分别与所述单晶炉系统的输出侧相连接且各个所述分区域独立回收单元并行设置，所述独立增压单元的输入侧与所述分区域独立回收单元的输出侧一一对应串联，每个所述独立增压单元的输出侧均分支为第一支路和第二支路，所述第一支路与所述各个所述独立放空单元的输入侧一一对应连接，所述第二支路均与所述氩气净化系统的输入侧相连接，所述氧含量检测单元与所述独立增压单元的输出侧一一对应连接。

2.根据权利要求1所述的单晶炉前端装置，其特征在于：每个所述独立增压单元包括两台并行设置且一备一用的增压风机。

3.根据权利要求1所述的单晶炉前端装置，其特征在于：所述单晶炉前端装置还包括多个用于对所述独立增压单元输出的氩尾气的压力进行检测的压力检测单元，所述压力检测单元与所述独立增压单元的输入侧、输出侧一一对应连接。

4.根据权利要求1所述的单晶炉前端装置，其特征在于：所述单晶炉前端装置还包括多个铂热电阻，所述铂热电阻与所述独立增压单元的输入侧、输出侧一一对应连接。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的单晶炉前端装置，其特征在于：所述单晶炉前端装置还包括冷却单元，各个所述第二支路汇总后经所述冷却单元与所述氩气净化系统的输入侧相连接。

6.根据权利要求5所述的单晶炉前端装置，其特征在于：所述冷却单元包括两台并行设置且一备一用的冷却器。

7.根据权利要求1所述的单晶炉前端装置，其特征在于：所述单晶炉前端装置还包括根据各个所述氧含量检测单元输出的检测结果控制对应所述独立放空单元是否工作的控制单元，所述控制单元分别与各个所述氧含量检测单元、各个所述独立放空单元相连接。

8.根据权利要求7所述的单晶炉前端装置，其特征在于：所述单晶炉前端装置还包括与所述控制单元相连接并能够向工作人员发送告警信息的通信单元。