[实用新型]一种紫外单色激光物镜

说明书

本实用新型公开了一种紫外单色激光物镜，包括沿入射方向依次设置第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜和第六透镜；第一透镜为弯月形状的负透镜，第二透镜为弯月形状的正透镜，第三透镜为双凸正透镜，第四透镜为双凸正透镜，第五透镜为弯月形状正透镜，第六透镜为弯月形状正透镜。本实用新型紫外单色激光物镜，MTF接近衍射极限，畸变＜0.2％，能完美放大测试目标，激光透过率大于95％，激光损伤阈值在3J/cm²，用于测量高功率超快微米级激光聚焦光斑。

技术领域

本实用新型涉及一种紫外单色激光物镜，属于激光光学领域。

背景技术

紫外显微物镜，是显微物镜的一种，使用波段在190-450nm，放大倍率有10X、20X、50X等。主要用于单紫外荧光显微观察，或者紫外准分子激光器和其它紫外激光的轴上激光聚焦、显微成像。由于设计波长在190-450nm，为了保证成像质量，光学设计消色差采取多种玻璃材料设计。设计采取宽波段镀膜，导致在单激光波长343nm激光透过率在80％左右。如果用于高功率超快紫外激光，玻璃镜片的损伤阈值在0.8J/cm²，难以满足使用要求。

实用新型内容

本实用新型提供一种紫外单色激光物镜，全紫外熔融石英材料设计，MTF接近衍射极限，畸变＜0.2％，能完美放大测试目标，激光透过率大于95％，激光损伤阈值在3J/cm²，可用于高功率激光聚焦和检测应用。

为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案如下：

一种紫外单色激光物镜，包括沿入射方向依次设置第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜和第六透镜；第一透镜为弯月形状的负透镜，第二透镜为弯月形状的正透镜，第三透镜为双凸正透镜，第四透镜为双凸正透镜，第五透镜为弯月形状正透镜，第六透镜为弯月形状正透镜。

上述紫外单色激光物镜为10X有限远紫外物镜，可用于测量高功率超快微米级激光聚焦光斑。

沿入射方向，第一透镜的两侧面依次为第一曲面和第二曲面，第二透镜的两侧面依次为第三曲面和第四曲面，第三透镜的两侧面依次为第五曲面和第六曲面，第四透镜的两侧面依次为第七曲面和第八曲面，第五透镜的两侧面依次为第九曲面和第十曲面，第六透镜的两侧面依次为第十一曲面和第十二曲面；

第一曲面的曲率半径为-11～-15mm，第二曲面的曲率为250～265mm；第三曲面的曲率半为-60～-70mm，第四曲面的曲率半径为-20～-30mm；第五曲面的曲率半径为490～500mm，第六曲面的曲率半径为-40～-50mm；第七曲面的曲率半径为60～70mm，第八曲面的曲率半径为-150～-155mm；第九曲面的曲率半径为30～35mm，第十曲面的曲率半径为105～115mm；第十一曲面的曲率半径为15～25mm，第十二曲面的曲率半径为25～35mm。

为了提高成像效果，优选，第一曲面的曲率半径为-13.709±0.002mm，第二曲面的曲率为258.191±0.002mm；第三曲面的曲率半为-67.445±0.002mm，第四曲面的曲率半径为-25±0.002mm；第五曲面的曲率半径为496.482±0.002mm，第六曲面的曲率半径为-44.67±0.002mm；第七曲面的曲率半径为65.77±0.002mm，第八曲面的曲率半径为-152.183±0.002mm；第九曲面的曲率半径为33.73±0.002mm，第十曲面的曲率半径为111.34±0.002mm；第十一曲面的曲率半径为20.781±0.002mm，第十二曲面的曲率半径为31.45±0.002mm。