[实用新型]一种紫外单色激光物镜

权利要求书

1.一种紫外单色激光物镜，其特征在于：包括沿入射方向依次设置第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜和第六透镜；第一透镜为弯月形状的负透镜，第二透镜为弯月形状的正透镜，第三透镜为双凸正透镜，第四透镜为双凸正透镜，第五透镜为弯月形状正透镜，第六透镜为弯月形状正透镜。

2.如权利要求1所述的紫外单色激光物镜，其特征在于：沿入射方向，第一透镜的两侧面依次为第一曲面和第二曲面，第二透镜的两侧面依次为第三曲面和第四曲面，第三透镜的两侧面依次为第五曲面和第六曲面，第四透镜的两侧面依次为第七曲面和第八曲面，第五透镜的两侧面依次为第九曲面和第十曲面，第六透镜的两侧面依次为第十一曲面和第十二曲面；

第一曲面的曲率半径为-11～-15mm，第二曲面的曲率为250～265mm；第三曲面的曲率半为-60～-70mm，第四曲面的曲率半径为-20～-30mm；第五曲面的曲率半径为490～500mm，第六曲面的曲率半径为-40～-50mm；第七曲面的曲率半径为60～70mm，第八曲面的曲率半径为-150～-155mm；第九曲面的曲率半径为30～35mm，第十曲面的曲率半径为105～115mm；第十一曲面的曲率半径为15～25mm，第十二曲面的曲率半径为25～35mm。

3.如权利要求2所述的紫外单色激光物镜，其特征在于：第一曲面的曲率半径为-13.709±0.002mm，第二曲面的曲率为258.191±0.002mm；第三曲面的曲率半为-67.445±0.002mm，第四曲面的曲率半径为-25±0.002mm；第五曲面的曲率半径为496.482±0.002mm，第六曲面的曲率半径为-44.67±0.002mm；第七曲面的曲率半径为65.77±0.002mm，第八曲面的曲率半径为-152.183±0.002mm；第九曲面的曲率半径为33.73±0.002mm，第十曲面的曲率半径为111.34±0.002mm；第十一曲面的曲率半径为20.781±0.002mm，第十二曲面的曲率半径为31.45±0.002mm。

4.如权利要求1-3任意一项所述的紫外单色激光物镜，其特征在于：第一透镜的中心厚度为3.3±0.1mm；第二透镜的中心厚度为6±0.1mm；第三透镜的中心厚度为6±0.1mm；第四透镜的中心厚度为5.9±0.1mm；第五透镜的中心厚度为5.5±0.1mm；第六透镜的中心厚度为5.5±0.1mm。

5.如权利要求1-3任意一项所述的紫外单色激光物镜，其特征在于：第一透镜与第二透镜的中心间隔为5.5±0.2mm，第二透镜和第三透镜之间的中心间隔为2.4±0.2mm，第三透镜和第四透镜之间的中心间隔为9.9±0.2mm，第四透镜和第五透镜之间的中心间隔为1.3±0.2mm，第五透镜和第六透镜之间的中心间隔为0.7±0.2mm，后截距长度是23.2 ±0.2mm。

6.如权利要求1-3任意一项所述的紫外单色激光物镜，其特征在于：所有透镜材料采用紫外熔融石英材料。

7.如权利要求1-3任意一项所述的紫外单色激光物镜，其特征在于：物镜参数：波长343nm，焦距20mm，NA0.25，共轭距离259.8mm。