[实用新型]防撞突上机构有效
| 申请号: | 202121779529.X | 申请日: | 2021-08-02 |
| 公开(公告)号: | CN215451350U | 公开(公告)日: | 2022-01-07 |
| 发明(设计)人: | 刘明坤;梁吉来;姜博;王云峰 | 申请(专利权)人: | 大连佳峰自动化股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/687 |
| 代理公司: | 大连优路智权专利代理事务所(普通合伙) 21249 | 代理人: | 宋春昕 |
| 地址: | 116000 辽宁省大连市经*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 防撞突上 机构 | ||
防撞突上机构,磁吸底座上表面和顶针帽磁吸座的下表面对应安装磁吸座磁铁,磁吸底座和顶针帽磁吸座之间通过磁吸座磁铁吸合连接;磁吸底座和顶针帽磁吸座中心设有通孔,贯穿磁吸底座和顶针帽磁吸座中心的通孔设有下推杆和上推杆,下推杆的上端和上推杆的下端分别设有推杆磁铁,下推杆和上推杆之间通过推杆磁铁吸合连接;上推杆上端安装顶针座,顶针座上安装顶针;下推杆下端连接电机。本实用新型的防撞突上机构,安装座与顶针帽基座之间通过磁吸安装,可快速便捷地更换顶针和顶针帽,减少了安装之后的调整工序,大幅度提高了工作效率。在调试或工作过程中,当顶针帽与wafer平台发生碰撞时,顶针帽基座会与磁吸底座脱离,降低设备损坏风险。
技术领域
本实用新型涉及贴片设备领域。
背景技术
突上机构是贴片机设备上常用的机构,主要用于芯片贴片时的取片,在取片时,位于晶圆上方的抓取部的吸嘴将芯片吸住抬起的同时,位于晶圆下方的突上机构的顶针迅速向上动作,将芯片顶起,使芯片与晶圆载膜快速脱离,确保抓取头的取片动作快速、高效进行,保证了整个贴片工艺的精度和效率。
实际生产过程中,根据所生产芯片产品的不同,往往需要更换不同的顶针和顶针帽,以对应不同规格的芯片。现有的突上结构,在更换产品种类时,需要将顶针帽、顶针等都取下,进行更换。同时,更换顶针和顶针帽后,顶针帽高度、垂直度等都要重新进行调整,达到生产标准后,设备方可正常进行生产。另外,在设备调试或生产过程中,由于操作失误等不可预见的情况,会发生顶针帽与wafer平台相撞的事故,现有突上机构顶针帽与顶针帽基座通过螺钉硬性连接,顶针帽与wafer平台发生碰撞后,相关零部件损坏风险极大。
实用新型内容
为了解决现有突上机构存在的上述问题,本实用新型提供了一种防撞突上机构。
本实用新型为实现上述目的所采用的技术方案是:防撞突上机构,磁吸底座5上表面和顶针帽磁吸座3的下表面对应安装磁吸座磁铁4,磁吸底座7和顶针帽磁吸座3之间通过磁吸座磁铁4吸合连接;磁吸底座7和顶针帽磁吸座3中心设有通孔,贯穿磁吸底座7和顶针帽磁吸座3中心的通孔设有下推杆5和上推杆2,下推杆5的上端和上推杆2的下端分别设有推杆磁铁8,下推杆5和上推杆2之间通过推杆磁铁8吸合连接;上推杆2上端安装顶针座11,顶针座11上安装顶针12;下推杆5下端连接电机6。
所述顶针帽磁吸座3上部安装顶针帽基座9,顶针帽基座9上安装顶针帽1,顶针座11和顶针12位于顶针帽1内。
所述顶针帽基座9内位于上推杆2外侧安装直线轴承10。
所述电机6为音圈电机。
所述磁吸底座7上表面设有机种检测传感器13。
本实用新型的防撞突上机构,安装座与顶针帽基座之间通过磁吸安装,可快速便捷地更换顶针和顶针帽,减少了安装之后的调整工序,大幅度提高了工作效率。在调试或工作过程中,当顶针帽与wafer平台发生碰撞时,顶针帽基座会与磁吸底座脱离,降低设备损坏风险。
附图说明
图1是本实用新型防撞突上机构主视剖面结构图。
图2是本实用新型防撞突上机构顶针帽磁吸座仰视结构图。
图3是本实用新型防撞突上机构磁吸底座俯视结构图。
图4是本实用新型防撞突上机构的顶针系统与磁吸底座脱离状态示意图。
图中:1、顶针帽,2、上推杆,3、顶针帽磁吸座,4、磁吸座磁铁,5、下推杆,6、电机,7、磁吸底座,8、推杆磁铁,9、顶针帽基座,10、直线轴承,11、顶针座,12、顶针,13、机种检测传感器,14、架体。
具体实施方式
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





