[实用新型]防撞突上机构有效

专利信息
申请号: 202121779529.X 申请日: 2021-08-02
公开(公告)号: CN215451350U 公开(公告)日: 2022-01-07
发明(设计)人: 刘明坤;梁吉来;姜博;王云峰 申请(专利权)人: 大连佳峰自动化股份有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/687
代理公司: 大连优路智权专利代理事务所(普通合伙) 21249 代理人: 宋春昕
地址: 116000 辽宁省大连市经*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 防撞突上 机构
【说明书】:

防撞突上机构,磁吸底座上表面和顶针帽磁吸座的下表面对应安装磁吸座磁铁,磁吸底座和顶针帽磁吸座之间通过磁吸座磁铁吸合连接;磁吸底座和顶针帽磁吸座中心设有通孔,贯穿磁吸底座和顶针帽磁吸座中心的通孔设有下推杆和上推杆,下推杆的上端和上推杆的下端分别设有推杆磁铁,下推杆和上推杆之间通过推杆磁铁吸合连接;上推杆上端安装顶针座,顶针座上安装顶针;下推杆下端连接电机。本实用新型的防撞突上机构,安装座与顶针帽基座之间通过磁吸安装,可快速便捷地更换顶针和顶针帽,减少了安装之后的调整工序,大幅度提高了工作效率。在调试或工作过程中,当顶针帽与wafer平台发生碰撞时,顶针帽基座会与磁吸底座脱离,降低设备损坏风险。

技术领域

本实用新型涉及贴片设备领域。

背景技术

突上机构是贴片机设备上常用的机构,主要用于芯片贴片时的取片,在取片时,位于晶圆上方的抓取部的吸嘴将芯片吸住抬起的同时,位于晶圆下方的突上机构的顶针迅速向上动作,将芯片顶起,使芯片与晶圆载膜快速脱离,确保抓取头的取片动作快速、高效进行,保证了整个贴片工艺的精度和效率。

实际生产过程中,根据所生产芯片产品的不同,往往需要更换不同的顶针和顶针帽,以对应不同规格的芯片。现有的突上结构,在更换产品种类时,需要将顶针帽、顶针等都取下,进行更换。同时,更换顶针和顶针帽后,顶针帽高度、垂直度等都要重新进行调整,达到生产标准后,设备方可正常进行生产。另外,在设备调试或生产过程中,由于操作失误等不可预见的情况,会发生顶针帽与wafer平台相撞的事故,现有突上机构顶针帽与顶针帽基座通过螺钉硬性连接,顶针帽与wafer平台发生碰撞后,相关零部件损坏风险极大。

实用新型内容

为了解决现有突上机构存在的上述问题,本实用新型提供了一种防撞突上机构。

本实用新型为实现上述目的所采用的技术方案是:防撞突上机构,磁吸底座5上表面和顶针帽磁吸座3的下表面对应安装磁吸座磁铁4,磁吸底座7和顶针帽磁吸座3之间通过磁吸座磁铁4吸合连接;磁吸底座7和顶针帽磁吸座3中心设有通孔,贯穿磁吸底座7和顶针帽磁吸座3中心的通孔设有下推杆5和上推杆2,下推杆5的上端和上推杆2的下端分别设有推杆磁铁8,下推杆5和上推杆2之间通过推杆磁铁8吸合连接;上推杆2上端安装顶针座11,顶针座11上安装顶针12;下推杆5下端连接电机6。

所述顶针帽磁吸座3上部安装顶针帽基座9,顶针帽基座9上安装顶针帽1,顶针座11和顶针12位于顶针帽1内。

所述顶针帽基座9内位于上推杆2外侧安装直线轴承10。

所述电机6为音圈电机。

所述磁吸底座7上表面设有机种检测传感器13。

本实用新型的防撞突上机构,安装座与顶针帽基座之间通过磁吸安装,可快速便捷地更换顶针和顶针帽,减少了安装之后的调整工序,大幅度提高了工作效率。在调试或工作过程中,当顶针帽与wafer平台发生碰撞时,顶针帽基座会与磁吸底座脱离,降低设备损坏风险。

附图说明

图1是本实用新型防撞突上机构主视剖面结构图。

图2是本实用新型防撞突上机构顶针帽磁吸座仰视结构图。

图3是本实用新型防撞突上机构磁吸底座俯视结构图。

图4是本实用新型防撞突上机构的顶针系统与磁吸底座脱离状态示意图。

图中:1、顶针帽,2、上推杆,3、顶针帽磁吸座,4、磁吸座磁铁,5、下推杆,6、电机,7、磁吸底座,8、推杆磁铁,9、顶针帽基座,10、直线轴承,11、顶针座,12、顶针,13、机种检测传感器,14、架体。

具体实施方式

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