[实用新型]一种真空镀膜设备有效
| 申请号： | 202121739048.6 | 申请日： | 2021-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN215440657U | 公开（公告）日： | 2022-01-07 |
| 发明（设计）人： | 李帅领 | 申请（专利权）人： | 上海子微智能科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54;C23C14/56 |
| 代理公司： | 合肥市科融知识产权代理事务所(普通合伙) 34126 | 代理人： | 刘冉 |
| 地址： | 201800 上海市嘉*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 设备 | ||
1.一种真空镀膜设备，包括控制箱(1)，其特征在于，所述控制箱(1)的底部两侧均固定安装有支架(2)，所述支架(2)的底部固定安装有滚轮(3)，所述控制箱(1)的顶部固定安装有真空舱(4)，所述真空舱(4)的前侧固定安装有舱门(5)；
所述控制箱(1)的内顶壁中部固定安装有驱动电机(6)，所述驱动电机(6)的输出端固定安装有丝杠(7)，所述丝杠(7)的外侧固定安装有固定架(8)，所述固定架(8)的底部两侧均固定安装有固定柱(9)，所述控制箱(1)的内底壁一侧固定安装有冷却箱(11)，所述冷却箱(11)的顶部一侧固定安装有第一连接管(12)，所述控制箱(1)的内底壁另一侧固定安装有回收箱(13)，所述回收箱(13)的顶部一侧固定安装有第二连接管(14)，所述真空舱(4)的内底壁中部固定安装有固定座(15)，所述固定座(15)的顶部固定安装有冷却板(16)，所述冷却板(16)的顶部固定安装有基片架(17)，所述冷却板(16)的内部固定安装有冷却管(18)。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备，其特征在于，所述控制箱(1)的内底壁两侧均固定安装有滑杆(10)，所述滑杆(10)的顶端贯穿固定架(8)并与控制箱(1)的内顶壁相固定。
3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备，其特征在于，所述丝杠(7)的底端与控制箱(1)的内底壁中部相连接，所述固定架(8)的外侧与控制箱(1)的内壁活动连接。
4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备，其特征在于，所述冷却箱(11)位于丝杠(7)的一侧设置，所述回收箱(13)位于丝杠(7)的另一侧设置，所述冷却箱(11)与回收箱(13)之间固定安装有循环管。
5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备，其特征在于，所述第一连接管(12)的顶端贯穿冷却板(16)的底部一侧并与冷却管(18)的一端相固定。
6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备，其特征在于，所述第二连接管(14)的顶端贯穿冷却板(16)的底部一侧并与冷却管(18)的一端相固定。
7.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备，其特征在于，所述控制箱(1)的底部开设有与滚轮(3)相适配的收纳槽，所述固定柱(9)的底端与支架(2)的顶部相固定，所述冷却管(18)的形状为蛇形。
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