[实用新型]晶圆加工机台报警处理系统

权利要求书

1.一种晶圆加工机台报警处理系统，其特征在于，包括：系统控制器、第一马达、第二马达、超纯水管路和晶圆托盘；

所述系统控制器控制所述第二马达驱动所述晶圆托盘上的晶圆旋转；

紧急状况时，所述系统控制器控制所述第一马达驱动所述晶圆托盘上的所述晶圆旋转，且所述系统控制器控制所述超纯水管路先清洗晶圆；之后所述第一马达继续驱动所述晶圆托盘上的所述晶圆旋转实现干燥；

同一时间内，所述系统控制器控制所述第一马达和第二马达中仅有一个马达驱动所述晶圆托盘上的所述晶圆旋转。

2.如权利要求1所述的晶圆加工机台报警处理系统，其特征在于，所述报警处理系统还包括带动所述晶圆托盘旋转的托盘旋转轴承结构，所述托盘旋转轴承结构包括托盘旋转轴和托盘轴承，所述托盘轴承的内圈与所述托盘旋转轴固定连接，所述托盘轴承的外圈固定；所述晶圆托盘、所述托盘轴承的内圈和所述托盘旋转轴三者同步旋转。

3.如权利要求2所述的晶圆加工机台报警处理系统，其特征在于，所述托盘轴承为中空柱体结构，具有中空的管道；干燥用的氮气管路设置在所述中空的管道内。

4.如权利要求2所述的晶圆加工机台报警处理系统，其特征在于，所述托盘旋转轴上固定有第一齿轮，所述第二马达的旋转轴上固定有第二齿轮，所述第一齿轮与所述第二齿轮通过第一皮带传动。

5.如权利要求4所述的晶圆加工机台报警处理系统，其特征在于，所述第二马达的旋转轴上还固定有第三齿轮，所述第一马达的旋转轴上固定有第四齿轮，所述第三齿轮与所述第四齿轮通过第二皮带传动。

6.如权利要求1所述的晶圆加工机台报警处理系统，其特征在于，还包括：第一驱动器、设置于所述第一驱动器与所述第一马达之间的第一继电器；第二驱动器、设置于所述第二驱动器与所述第二马达之间的第二继电器；所述系统控制器控制所述第一继电器和所述第二继电器的开合状态相反。

7.如权利要求6所述的晶圆加工机台报警处理系统，其特征在于，当晶圆加工机台的反应腔正常运作或者制程中断但可立刻自动执行超纯水清洗和氮气下干燥工序时，所述第一继电器断开，所述第二继电器吸合。

8.如权利要求6所述的晶圆加工机台报警处理系统，其特征在于，所述紧急状况时，所述第二继电器断开，所述第一继电器吸合。

9.如权利要求1所述的晶圆加工机台报警处理系统，其特征在于，所述系统控制器与所述超纯水管路之间依次设置有电磁阀和气动阀，所述系统控制器通过所述电磁阀控制所述气动阀的打开与关闭。

10.如权利要求1所述的晶圆加工机台报警处理系统，其特征在于，所述超纯水管路的出水方向与所述晶圆托盘的底面的夹角范围为：30°～60°。

11.如权利要求1所述的晶圆加工机台报警处理系统，其特征在于，所述晶圆托盘的周侧区域还设置有化学品手臂、氮气手臂和超纯水手臂。

12.如权利要求11所述的晶圆加工机台报警处理系统，其特征在于，当晶圆加工机台的反应腔正常运作或者制程中断但可立刻自动执行超纯水清洗和氮气下干燥工序时，所述超纯水手臂供水；所述紧急状况下，所述超纯水管路供水。

13.如权利要求1所述的晶圆加工机台报警处理系统，其特征在于，所述紧急状况包括：晶圆加工机台的反应腔制程中断且无法立刻自动执行超纯水清洗和氮气下干燥工序。