[实用新型]一种晶圆紧固装置

权利要求书

1.一种晶圆紧固装置，包括旋转基座(1)，分别与旋转基座(1)相连的至少三个连接臂(2)，及固定机构(3)，其特征在于：所述固定机构(3)包括设于连接臂(2)的承托部(31)，及转动连接于承托部(31)的配重件(32)，所述配重件(32)上形成缺口部(33)，该缺口部(33)上具有抵压面(331)，当旋转基座(1)转动时，所述配重件(32)相对承托部(31)转动，所述抵压面(331)可抵接晶圆(4)的侧壁，以配合承托部(31)固定晶圆(4)。

2.根据权利要求1所述的晶圆紧固装置，其特征在于：所述缺口部(33)上具有避让面(332)，该避让面(332)与所述抵压面(331)形成V字形或C字形，该V字形或C字形的开口朝向旋转基座(1)。

3.根据权利要求1或2所述的晶圆紧固装置，其特征在于：所述配重件(32)朝向旋转基座(1)的一侧形成安装槽(321)，所述承托部(31)的至少部分伸入该安装槽(321)，且通过轴销(34)转动连接于该安装槽(321)。

4.根据权利要求3所述的晶圆紧固装置，其特征在于：还包括定位件，其垂直穿过配重件(32)后与轴销(34)外壁相抵接，或者，其垂直穿过配重件(32)后插入轴销(34)。

5.根据权利要求1所述的晶圆紧固装置，其特征在于：当晶圆(4)被固定时，所述抵压面(331)和晶圆(4)之间线接触，所述抵压面(331)抵接所述晶圆(4)上表面和侧壁之间的棱。

6.根据权利要求1所述的晶圆紧固装置，其特征在于：所述承托部(31)上形成水平台阶面，其与晶圆(4)下表面接触以实现对晶圆(4)的水平承托。

7.根据权利要求6所述的晶圆紧固装置，其特征在于：所述承托部(31)上形成高于水平台阶面的限位本体(312)，以限制晶圆(4)的水平移动，该限位本体(312)内侧形成便于晶圆(4)置入的引导斜面(313)。

8.根据权利要求1所述的晶圆紧固装置，其特征在于：所述配重件(32)的侧壁为圆弧面。

9.根据权利要求1所述的晶圆紧固装置，其特征在于：所述连接臂(2)的外壁各处圆滑过渡，所述连接臂(2)和旋转基座(1)的连接处圆滑过渡。

10.根据权利要求1所述的晶圆紧固装置，其特征在于：所述配重件(32)顶部设有沿垂直于轴向的方向延伸的突出部(323)，当配重件(32)相对承托部(31)转动时，该突出部(323)朝上倾斜，用于检测配重件(32)是否处于工作状态。