[实用新型]一种磁控溅射箱体的密封装置

权利要求书

1.一种磁控溅射箱体的密封装置，包括箱体（1）以及一端通过铰链活动安装在箱体（1）上的箱门（2）；其特征是还包括设置在箱门（2）和箱体（1）上的多级密封结构（3）以及安装在箱门（2）和箱体（1）上用于锁紧箱门（2）的若干锁紧机构（4）。

2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射箱体的密封装置，其特征在于：所述锁紧机构（4）包含安装在箱门（2）上的锁紧块（41）、安装在箱体（1）上且与锁紧块（41）位置相对应的锁紧座（42）、活动安装在锁紧座（42）上的锁紧杆（43）以及与锁紧杆（43）活动连接的拉块（44）。

3.根据权利要求2所述的一种磁控溅射箱体的密封装置，其特征在于：所述锁紧块（41）上设有勾槽（45），所述拉块（44）上设有与勾槽（45）相适配的挂钩（46）。

4.根据权利要求1所述的一种磁控溅射箱体的密封装置，其特征在于：所述多级密封结构（3）包含设置在箱体（1）上的密封槽（31）以及设置在箱门（2）上的密封块（32），所述密封槽（31）内设置有若干凸台（33），所述箱门（2）上设有与凸台（33）相适配的凹槽（34）。

5.根据权利要求4所述的一种磁控溅射箱体的密封装置，其特征在于：所述密封槽（31）通过若干凸台（33）形成波纹槽（35），所述波纹槽（35）内安装有密封垫（36）。