[实用新型]一种半导体激光器生产用真空防绕镀翻转工装有效

专利信息
申请号: 202121597905.3 申请日: 2021-07-14
公开(公告)号: CN215251149U 公开(公告)日: 2021-12-21
发明(设计)人: 周旭彦;陈文鹤;程仕聪;谷彦梁 申请(专利权)人: 潍坊先进光电芯片研究院;中国科学院半导体研究所
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50;H01S5/10
代理公司: 山东华君知识产权代理有限公司 37300 代理人: 程静静
地址: 261000 山东省潍坊市潍城*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体激光器 生产 空防 翻转 工装
【权利要求书】:

1.一种半导体激光器生产用真空防绕镀翻转工装,其特征在于:包括支撑机构、载物夹具机构和翻转机构,支撑机构连接载物夹具机构和翻转机构,翻转机构可将载物机构翻转180°,便于对基底(12)进行双面镀膜;

所述载物夹具机构包括载物夹具本体(8),基底(12)放置在载物夹具本体(8)上,载物夹具本体(8)的上方设有保护盒(5),保护盒(5)可完全遮盖住载物夹具本体(8)。

2.如权利要求1所述的一种半导体激光器生产用真空防绕镀翻转工装,其特征在于:所述支撑机构包括限位支撑架(3)、多孔支撑架(11)和支撑架端板(1),支撑架端板(1)的两端分别连接多孔支撑架(11)和限位支撑架(3)。

3.如权利要求2所述的一种半导体激光器生产用真空防绕镀翻转工装,其特征在于:所述载物夹具本体(8)的一端通过长转轴(9)与限位支撑架(3)转动连接,载物夹具本体(8)的另一端通过短转轴(10)与多孔支撑架(11)转动连接。

4.如权利要求2所述的一种半导体激光器生产用真空防绕镀翻转工装,其特征在于:所述载物夹具本体(8)与限位支撑架(3)连接的一端设有限位条(7),翻转机构在限位条(7)和限位支撑架(3)配合下翻转180°。

5.如权利要求2所述的一种半导体激光器生产用真空防绕镀翻转工装,其特征在于:所述支撑架端板(1)上设有活动槽(14),活动槽(14)内安装有两个蝶形螺丝(6),蝶形螺丝(6)连接有保护盒(5),调节蝶形螺丝(6)调整保护盒的高度和角度。

6.如权利要求3所述的一种半导体激光器生产用真空防绕镀翻转工装,其特征在于:所述翻转机构包括翻转配重架(4),翻转配重架(4)插入在长转轴(9)上,并通过螺丝和长转轴(9)进行固定。

7.如权利要求3所述的一种半导体激光器生产用真空防绕镀翻转工装,其特征在于:所述支撑机构安装在伞架(15)的托板上,翻转配重架(4)朝外边。

8.如权利要求7所述的一种半导体激光器生产用真空防绕镀翻转工装,其特征在于:所述伞架(15)上安装的顶针(13)顶出,伞架(15)转动,当翻转配重架(4)转到顶针(13)处,翻转配重架(4)碰到顶针(13),载物夹具本体(8)向下翻转。

9.如权利要求3所述的一种半导体激光器生产用真空防绕镀翻转工装,其特征在于:所述多孔支撑架(11)上设有多个圆孔,可供载物夹具本体(8)调节角度。

10.如权利要求3所述的一种半导体激光器生产用真空防绕镀翻转工装,其特征在于:所述载物夹具机构设计成梯形,载物夹具本体(8)和保护盒(5)均设计成梯形。

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