[实用新型]一种基板加热冷却系统

说明书

本实用新型公开一种基板加热冷却系统，包括真空腔体，所述真空腔体内沿竖直方向固定连接有用于托放多个基板的支架，所述真空腔体内安装有对每块基板的蒸镀面进行加热的加热装置，所述真空腔体内还安装有对每块基板的非蒸镀面进行冷却的冷却机构，所述冷却机构包括可升降的冷却板，所述冷却板内具有用于盛水的夹层，所述冷却板朝向加热装置的壁面上固定连接有隔热板。本装置结构简单，功能多样，使用方便。

技术领域

本实用新型涉及蒸镀设备领域，尤其是涉及一种基板加热冷却系统。

背景技术

显示用玻璃基板、半导体用晶圆基板以及其他薄片装基板在蒸镀后需要进行加热再冷却；目前对基板的加热和冷却是分别使用两个装置完成，在转运过程中，容易造成污染、导致产品良品率的下降。

发明内容

有鉴于此，有必要提供一种结构简单、功能多样的基板加热冷却系统。

为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种基板加热冷却系统，包括真空腔体，所述真空腔体内沿竖直方向固定连接有用于托放多个基板的支架，所述真空腔体内安装有对每块基板的蒸镀面进行加热的加热装置，所述真空腔体内还安装有对每块基板的非蒸镀面进行冷却的冷却机构，所述冷却机构包括可升降的冷却板，所述冷却板内具有用于盛水的夹层，所述冷却板朝向加热装置的壁面上固定连接有隔热板。

进一步的，所述隔热板由多层相平行布置的薄板构成。

进一步的，所述加热装置包括托板和固定连接在托板上的电热器。

进一步的，所述真空腔体内固定连接有用于升降冷却板的升降机构。

进一步的，还包括为所有冷却板内夹层提供冷却水的供水管路，所述夹层一端具有进水口、另一端具有出水口。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：本装置集成了对基板进行冷却和加热功能，结构简单，功能多样，使用方便。

为让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。

附图说明

图1为本实用新型实施例的结构示意图。

图中：1-真空腔体，2-支架，3-基板，4-托板，41-电热器，42-电源线，5-冷却板，51-隔热板，52-供水管路。

具体实施方式

为更进一步阐述本实用新型为实现预定发明目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本实用新型的具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。

如图1所示，一种基板加热冷却系统，包括真空腔体1。

真空腔体1内固定连接有支架2，该支架2上相平行的间隔托放有多块基板3，支架2托住基板3的四个角。

支架2上承托有对每块基板3的蒸镀面进行加热的加热装置，加热装置包括托板4和固定连接在托板上的电热器41。电容器41为电热棒或电热丝构成。真空腔体1内还具有分别电性连接电容器正负极并与外界电源相连接的电源线42。

真空腔体1内安装有对每块基板3的非蒸镀面进行冷却的冷却机构，冷却机构包括可升降的冷却板5，冷却板5内具有用于盛水的夹层，冷却板5朝向加热装置的壁面上固定连接有隔热板51，该隔热板51可以避免加热板对冷却板产生影响，减少加热装置对冷却板的热量输入，加热装置与冷却装置中间通过隔热板隔离，此隔热板51为多层薄板隔离固定而成，在薄板间形成隔离区，从而形成有效的隔热。

夹层一端具有进水口、另一端具有出水口，真空腔室1内具有为夹层供水的供水管路52。支架2上具有让供水管路52穿过和升降的行程槽。供水管路52可以是软管。