[实用新型]一种基板加热冷却系统有效
| 申请号： | 202121581342.9 | 申请日： | 2021-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN215209611U | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | 张耀辉;宗璐 | 申请（专利权）人： | 合肥联顿恪智能科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/50;C23C14/28 |
| 代理公司： | 泉州企记知识产权代理事务所(普通合伙) 35264 | 代理人： | 许寿宁 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 加热 冷却系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种基板加热冷却系统，其特征在于：包括真空腔体，所述真空腔体内沿竖直方向固定连接有用于托放多个基板的支架，所述真空腔体内安装有对每块基板的蒸镀面进行加热的加热装置，所述真空腔体内还安装有对每块基板的非蒸镀面进行冷却的冷却机构，所述冷却机构包括可升降的冷却板，所述冷却板内具有用于盛水的夹层，所述冷却板朝向加热装置的壁面上固定连接有隔热板。
2.根据权利要求1所述的基板加热冷却系统，其特征在于：所述隔热板由多层相平行布置的薄板构成。
3.根据权利要求1所述的基板加热冷却系统，其特征在于：所述加热装置包括托板和固定连接在托板上的电热器。
4.根据权利要求1所述的基板加热冷却系统，其特征在于：所述真空腔体内固定连接有用于升降冷却板的升降机构。
5.根据权利要求1所述的基板加热冷却系统，其特征在于：还包括为所有冷却板内夹层提供冷却水的供水管路，所述夹层一端具有进水口、另一端具有出水口。
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