[实用新型]红外探测器及红外检测设备

说明书

本申请提供了一种红外探测器及红外检测设备，该红外探测器包括：衬底；热电堆结构，设置在衬底的第一侧；第一支撑层，设置在衬底的第一侧并覆盖热电堆结构，第一支撑层未覆盖热电堆结构的位置处设置有至少一个开孔。本申请实施例提供的红外探测器能够减小第一支撑层上的应力，提高红外探测器的良率、稳定性及可靠性。

技术领域

本申请涉及传感器领域，具体涉及一种红外探测器及红外检测设备。

背景技术

因热匹配的问题，红外探测器的支撑层整体上呈现出一定的应力，导致支撑层比较脆弱，容易发生变形或破损。

例如，红外探测器的支撑层在测试过程中，易受到如探针台等设备的触压而破裂。此外，人员操作不当或运输过程中的撞击也可能会造成支撑层的破损，导致探测器的可靠性不佳，实物良率较低。

实用新型内容

有鉴于此，本申请实施例提供了一种红外探测器及红外检测设备，能够减小第一支撑层上的应力，提高红外探测器的良率、稳定性及可靠性。

第一方面，本申请提供了一种红外探测器，包括：衬底；热电堆结构，设置在衬底的第一侧；第一支撑层，设置在衬底的第一侧并覆盖热电堆结构，第一支撑层未覆盖热电堆结构的位置处设置有至少一个开孔。

在某些实施例中，至少一个开孔包括至少一个第一开孔，至少一个第一开孔设置在第一支撑层的边缘位置。

在某些实施例中，至少一个开孔包括至少一个第二开孔，至少一个第二开孔设置在第一支撑层的一个或多个对角线上。

在某些实施例中，至少一个开孔还包括至少一个第二开孔，至少一个第二开孔设置在第一支撑层的一个或多个对角线上。

在某些实施例中，第一支撑层的形状为矩形，至少一个第一开孔包括四个第一开孔，四个第一开孔分别设置在第一支撑层的四个拐角处，至少一个第二开孔包括多个第二开孔，多个第二开孔分别设置在第一支撑层的两个对角线上。

在某些实施例中，至少一个第二开孔中每个第二开孔为条形孔。

在某些实施例中，该红外探测器还包括：第二支撑层，设置在热电堆结构与衬底之间。

在某些实施例中，至少一个开孔贯穿第二支撑层。

在某些实施例中，热电堆结构包括第一热电偶层和第二热电偶层，第一热电偶层和第二热电偶层同层设置或层叠设置。

在某些实施例中，该红外探测器还包括：电极，设置在衬底的第一侧，与热电堆结构电连接。

第二方面，本申请提供了一种红外检测设备，包括如第一方面所述的红外探测器。

本申请实施例提供了一种红外探测器及红外检测设备，通过在第一支撑层上设置开孔，可以减小第一支撑层上的应力，有效避免第一支撑层在后续测试过程中易受到如探针台等设备的触压而破裂的弊端，以及减轻因人员操作不当或运输过程中的撞击而导致第一支撑层破损的风险。而且，在第一支撑层未覆盖热电堆结构的位置处设置开孔，可以避免热电堆结构裸露而受外界干扰，这样可以在减小第一支撑层上应力的同时保证红外探测器的灵敏度，从而可以提高红外探测器的良率、稳定性及可靠性。

附图说明

图1所示为本申请一实施例提供的红外探测器的俯视图。

图2所示为本申请一实施例提供的红外探测器在A-A’方向的截面图。

图3所示为本申请一实施例提供的红外探测器在B-B’方向的截面图。

图4所示为本申请另一实施例提供的红外探测器的俯视图。

图5所示为本申请另一实施例提供的红外探测器的俯视图。

图6所示为本申请另一实施例提供的红外探测器在B-B’方向的截面图。