[实用新型]红外探测器及红外检测设备有效
| 申请号： | 202121580274.4 | 申请日： | 2021-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN215262096U | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 李萍萍;李刚;胡维 | 申请（专利权）人： | 苏州敏芯微电子技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/02 | 分类号： | G01J5/02;G01J5/12 |
| 代理公司： | 北京布瑞知识产权代理有限公司 11505 | 代理人： | 秦卫中 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 红外探测器 红外 检测 设备 | ||
1.一种红外探测器，其特征在于，包括：
衬底；
热电堆结构，设置在所述衬底的第一侧；
第一支撑层，设置在所述衬底的所述第一侧并覆盖所述热电堆结构，所述第一支撑层未覆盖所述热电堆结构的位置处设置有至少一个开孔。
2.根据权利要求1所述的红外探测器，其特征在于，所述至少一个开孔包括至少一个第一开孔，所述至少一个第一开孔设置在所述第一支撑层的边缘位置。
3.根据权利要求1所述的红外探测器，其特征在于，所述至少一个开孔包括至少一个第二开孔，所述至少一个第二开孔设置在所述第一支撑层的一个或多个对角线上。
4.根据权利要求2所述的红外探测器，其特征在于，所述至少一个开孔还包括至少一个第二开孔，所述至少一个第二开孔设置在所述第一支撑层的一个或多个对角线上。
5.根据权利要求4所述的红外探测器，其特征在于，所述第一支撑层的形状为矩形，所述至少一个第一开孔包括四个第一开孔，所述四个第一开孔分别设置在所述第一支撑层的四个拐角处，所述至少一个第二开孔包括多个第二开孔，所述多个第二开孔分别设置在所述第一支撑层的两个对角线上。
6.根据权利要求3所述的红外探测器，其特征在于，所述至少一个第二开孔中每个第二开孔为条形孔。
7.根据权利要求1所述的红外探测器，其特征在于，还包括：
第二支撑层，设置在所述热电堆结构与所述衬底之间。
8.根据权利要求7所述的红外探测器，其特征在于，所述至少一个开孔贯穿所述第二支撑层。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的红外探测器，其特征在于，所述热电堆结构包括第一热电偶层和第二热电偶层，所述第一热电偶层和所述第二热电偶层同层设置或层叠设置。
10.根据权利要求1至8中任一项所述的红外探测器，其特征在于，还包括：
电极，设置在所述衬底的所述第一侧，与所述热电堆结构电连接。
11.一种红外检测设备，其特征在于，包括如权利要求1至10中任一项所述的红外探测器。
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