[实用新型]一种物理气相沉积用多向转动装置有效

专利信息
申请号: 202121580017.0 申请日: 2021-07-13
公开(公告)号: CN215251148U 公开(公告)日: 2021-12-21
发明(设计)人: 朱卫刚 申请(专利权)人: 株洲科汇钛力新材料有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50;C23C14/52
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 肖宇扬
地址: 412000 湖南省株洲市天*** 国省代码: 湖南;43
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摘要:
搜索关键词: 一种 物理 沉积 多向 转动 装置
【说明书】:

实用新型公开了一种物理气相沉积用多向转动装置,包括框架、固定压板、连接转盘和减震转向机构,框架正面的中间位置连接设置有透明观察窗口,透明观察窗口的上方安装设置有控制面板,框架内部的一侧连接设置有加工件,框架外部的另一侧连接设置有电机,框架的内部连接设置有转向筒,转向筒的内部以及加工件一端的顶部和底部皆连接设置有固定压板。本实用新型通过在将加工件放置在转向筒内部以及两个固定压板之间位置时,利用控制面板控制启动电动伸缩杆,配合连接滑板以及第一滑槽的作用可对两个固定压板之间的距离进行调节,便于对加工件一端进行固定夹持工作,可避免加工时出现加工件移动以及掉落的问题。

技术领域

本实用新型涉及表面改性领域以及物料沉积用辅助设备技术领域,具体为一种物理气相沉积用多向转动装置。

背景技术

物理气相沉积技术表示在真空条件下,采用物理方法,将材料源——固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子,并通过低压气体(或等离子体)过程,在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。物理气相沉积的主要方法有,真空蒸镀、溅射镀膜、电弧等离子体镀、离子镀膜,及分子束外延等。发展到目前,物理气相沉积技术不仅可沉积金属膜、合金膜、还可以沉积化合物、陶瓷、半导体、聚合物膜等。

现有的物理气相沉积用转动装置的整体转动以及活动性较差,且对于需要加工沉积的工件的固定性能稳定性较差。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种物理气相沉积用多向转动装置,以解决上述背景技术中提出的现有的物理气相沉积用转动装置,对于需要加工沉积的工件的固定性能稳定性较差等问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种物理气相沉积用多向转动装置,包括框架、固定压板、连接转盘和减震转向机构,所述框架正面的中间位置连接设置有透明观察窗口,所述透明观察窗口的上方安装设置有控制面板,所述框架内部的一侧连接设置有加工件,所述框架外部的另一侧连接设置有电机,所述框架的内部连接设置有转向筒,所述转向筒的内部以及加工件一端的顶部和底部皆连接设置有固定压板,所述固定压板的顶部连接设置有连接滑板,所述连接滑板的两侧以及固定压板内部的两侧皆连接设置有第一滑槽,所述连接滑板的顶部以及转向筒的顶部和底部皆安装设置有电动伸缩杆,连接滑板配合第一滑槽以及电动伸缩杆的作用可实现带动连接活动杆以及连接滑板在转向筒内部进行上下移动的工作,便于调节两个固定压板之间的距离。

优选的,所述转向筒一侧的顶部连接设置有连接活动杆,所述连接活动杆与转向筒外部的一侧属于活动连接设置,连接活动杆与转向筒一侧属于可转动活动连接,且连接活动杆与连接转盘内部属于滑动连接。

优选的,所述转向筒的顶部以及底部皆连接设置有减震转向机构,且减震转向机构整体与转向筒属于固定连接设置,框架与转向筒属于固定连接,且通过减震转向机构的设置可实现转向筒进行多方位转向以及减震具有弹性的作用。

优选的,所述连接活动杆的一端以及框架内部的一侧连接设置有连接转盘,连接转盘通过转杆以及电机设置连接在框架一侧位置,则连接转盘可通过电机的启动带动进行转动的工作。

优选的,所述连接转盘的内部连接设置有轨迹槽,轨迹槽的设置可实现连接转盘转动的同时使连接活动杆可连带转向筒整体沿着轨迹槽随着连接转盘进行转动的工作。

优选的,所述减震转向机构的内部以及转向筒的顶部和底部皆连接设置有连接块,所述连接块的内部连接设置有连接滑套,所述连接滑套的两端以及连接块内部的两侧皆连接设置有第二滑槽,所述连接滑套中间位置的内部连接设置有滑杆,所述滑杆的外部以及连接滑套的底部连接设置有弹簧,转向筒整体进行转向工作时,利用连接滑套与第二滑槽属于滑动连接,且配合滑杆和弹簧的作用可带动重力接触球在连接块内部进行反复上下移动工作。

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