[实用新型]一种物理气相沉积用多向转动装置有效

专利信息
申请号: 202121580017.0 申请日: 2021-07-13
公开(公告)号: CN215251148U 公开(公告)日: 2021-12-21
发明(设计)人: 朱卫刚 申请(专利权)人: 株洲科汇钛力新材料有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50;C23C14/52
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 肖宇扬
地址: 412000 湖南省株洲市天*** 国省代码: 湖南;43
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摘要:
搜索关键词: 一种 物理 沉积 多向 转动 装置
【权利要求书】:

1.一种物理气相沉积用多向转动装置,其特征在于,包括框架(1)、固定压板(7)、连接转盘(12)和减震转向机构(13),所述框架(1)正面的中间位置连接设置有透明观察窗口(2),所述透明观察窗口(2)的上方安装设置有控制面板(3),所述框架(1)内部的一侧连接设置有加工件(4),所述框架(1)外部的另一侧连接设置有电机(5),所述框架(1)的内部连接设置有转向筒(6),所述转向筒(6)的内部以及加工件(4)一端的顶部和底部皆连接设置有固定压板(7),所述固定压板(7)的顶部连接设置有连接滑板(8),所述连接滑板(8)的两侧以及固定压板(7)内部的两侧皆连接设置有第一滑槽(9),所述连接滑板(8)的顶部以及转向筒(6)的顶部和底部皆安装设置有电动伸缩杆(10)。

2.根据权利要求1所述的一种物理气相沉积用多向转动装置,其特征在于:所述转向筒(6)一侧的顶部连接设置有连接活动杆(11),所述连接活动杆(11)与转向筒(6)外部的一侧属于活动连接设置。

3.根据权利要求2所述的一种物理气相沉积用多向转动装置,其特征在于:所述转向筒(6)的顶部以及底部皆连接设置有减震转向机构(13),且减震转向机构(13)整体与转向筒(6)属于固定连接设置。

4.根据权利要求2所述的一种物理气相沉积用多向转动装置,其特征在于:所述连接活动杆(11)的一端以及框架(1)内部的一侧连接设置有连接转盘(12)。

5.根据权利要求4所述的一种物理气相沉积用多向转动装置,其特征在于:所述连接转盘(12)的内部连接设置有轨迹槽(14)。

6.根据权利要求3所述的一种物理气相沉积用多向转动装置,其特征在于:所述减震转向机构(13)的内部以及转向筒(6)的顶部和底部皆连接设置有连接块(1301),所述连接块(1301)的内部连接设置有连接滑套(1302),所述连接滑套(1302)的两端以及连接块(1301)内部的两侧皆连接设置有第二滑槽(1303),所述连接滑套(1302)中间位置的内部连接设置有滑杆(1304),所述滑杆(1304)的外部以及连接滑套(1302)的底部连接设置有弹簧(1305)。

7.根据权利要求6所述的一种物理气相沉积用多向转动装置,其特征在于:所述连接滑套(1302)两端的底部连接设置有连接杆(1306),所述连接杆(1306)的一端连接设置有重力接触球(1307),所述重力接触球(1307)的底部连接设置有连接座(1308)。

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