[实用新型]多芯片并联的氮化镓模块有效

专利信息
申请号: 202121549973.2 申请日: 2021-07-08
公开(公告)号: CN215578523U 公开(公告)日: 2022-01-18
发明(设计)人: 成浩;诸盼盼;赵冲;庄伟东 申请(专利权)人: 南京银茂微电子制造有限公司
主分类号: H01L23/367 分类号: H01L23/367;H01L23/15;H01L25/065
代理公司: 南京中擎科智知识产权代理事务所(普通合伙) 32549 代理人: 黄智明
地址: 211200 江苏省南*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 芯片 并联 氮化 模块
【说明书】:

实用新型公开了多芯片并联的氮化镓模块,涉及半导体的技术领域,旨在提高功率模块的性能和工作稳定性。其技术方案要点是包括导热底板和基板,基板上设置有若干个氮化镓芯片、用于连接的键合线、信号端子和功率端子,第一功率回路的氮化镓芯片SW1和氮化镓芯片SW3的对应信号端子位于第一功率回路和第二功率回路之间,第二功率回路的氮化镓芯片SW2和氮化镓芯片SW4的对应信号端子位于第二功率回路远离第一功率回路的一侧,氮化镓芯片通过键合线和基板连接至信号端子和功率端子。本实用新型通过优化布局减小模块电流回路电感和互感,达到了提高模块性能的效果。

技术领域

本实用新型涉及半导体的技术领域,尤其是涉及一种多芯片并联的氮化镓模块。

背景技术

相比于传统的半导体材料,氮化镓作为第三代半导体材料,在性能、效率、能耗、尺寸等多方面比市场主流的硅功率器件均有显著的提升,在制作大功率模块方面有着得天独厚的优势,氮化镓高功率半导体器件具有低导通损耗、高电流密度等特点。

随着电力电子系统电压电流等级越来越高,具有高功率密度、高可靠性多芯片功率模块应运而生。相比于单芯片的功率模块,多芯片并联的氮化镓功率模块在可靠性,功率密度以及开关频率等方面有着很大的提升。因此,降低多氮化镓芯片并联的功率模块的寄生电感势在必行。

图1为现有技术涉及的氮化镓三相全桥电路模块中单相的结构布局图,左边两个氮化镓芯片SW1和SW2纵向并列排列组成单相的上管芯片组,右边的两个氮化镓芯片SW3和SW4纵向并列排列组成单相的下管芯片组;上管芯片组的漏极通过键合线和陶瓷覆铜基板与正极端子相连,源极通过键合线和陶瓷覆铜基板与输出端子相连;下管芯片组的漏极通过键合线和陶瓷覆铜基板与输出端子相连,源极通过键合线和陶瓷覆铜基板与负极端子相连,SW1、SW2、SW3和SW4芯片栅极均朝右,模块的信号端子均布置在芯片栅极朝向的方向。若SW1与SW3为一个回路,SW2与SW4为一个回路,SW1与SW3之间、SW2与SW4之间隔有信号端子,导致回路电感较大。因此,如何对现有布局进行改进以减小回路电感,成为提高模块性能和工作稳定性研究的一个方向。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种多芯片并联的氮化镓模块,其具有减小模块电流回路电感和互感,提高模块性能的效果。

本实用新型的上述实用新型目的是通过以下技术方案得以实现的:

一种多芯片并联的氮化镓模块,包括导热底板和基板,所述基板上设置有若干个氮化镓芯片、用于连接的键合线、信号端子和功率端子,所述氮化镓模块包括有第一功率回路和第二功率回路,所述第一功率回路包括有相邻设置的氮化镓芯片SW1和氮化镓芯片SW3,所述第二功率回路包括有相邻设置的氮化镓芯片SW2和氮化镓芯片SW4,所述氮化镓芯片SW1和氮化镓芯片SW3的对应信号端子位于第一功率回路和第二功率回路之间,所述氮化镓芯片SW2和氮化镓芯片SW4的对应信号端子位于第二功率回路远离第一功率回路的一侧,所述氮化镓芯片通过键合线和基板连接至信号端子和功率端子。

本实用新型进一步设置为:所述氮化镓芯片栅极连接至信号端子,所述功率端子包括有正极端子、负极端子和输出端子,所述正极端子和负极端子均包括有两个引脚;所述正极端子分两个引脚引入氮化镓芯片SW1和氮化镓芯片SW2的漏极,所述氮化镓芯片SW1和氮化镓芯片SW2的漏极的源极连接至输出端子;所述氮化镓芯片SW3和氮化镓芯片SW4的源极分别通过两个引脚引入负极端子,所述氮化镓芯片SW3和氮化镓芯片SW4的漏极连接至输出端子。

本实用新型进一步设置为:各个所述氮化镓芯片栅极的朝向均相同。

本实用新型进一步设置为:所述基板为氧化锆陶瓷基板。

本实用新型进一步设置为:所述导热底板为铝碳化硅导热底板。

综上所述,本实用新型的有益技术效果为:

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