[实用新型]一种将芯片从托盘转移至载具的双站式系统有效
申请号: | 202121549359.6 | 申请日: | 2021-07-09 |
公开(公告)号: | CN216250671U | 公开(公告)日: | 2022-04-08 |
发明(设计)人: | 赵凯;梁猛;林海涛;邵嘉裕;程坤喜 | 申请(专利权)人: | 技感半导体设备(南通)有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/67 |
代理公司: | 南通英诺威讯专利代理事务所(普通合伙) 32508 | 代理人: | 范鑫鑫 |
地址: | 226000 江苏省南通市南通市开发区苏通科技产业*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 托盘 转移 至载具 双站式 系统 | ||
本实用新型公开了一种将芯片从托盘转移至载具的双站式系统,包括两个载具下料工站、两个载具上料工站、两组托盘上料工位和两组托盘下料工位,两个载具下料工站和两组托盘上、下料工位设置在系统的两侧,两个载具上料工站设置在系统的中心,两组托盘上料工位和两组托盘下料工位相对设置。在原有排布基础上,将T字形的两个缺角空间进行空间利用,将缺角部分利用或者降低无用空间占比。实现效益空间内的双工站排布方式,直接体现在作业效率的提升。
技术领域
本实用新型涉及一种双站式系统,具体涉及一种将芯片从托盘转移至载具的双站式系统。
背景技术
芯片封装厂中,有道工艺需求为将托盘中的芯片转移到载具中。
为了实现高速高效的转移速度,除了动作的整体加快,更有效率的方式是直接增加工站数量,但是工站数量的增加,就是直接增加厂内占地。所以需要在有效利用空间内,增加攻占数量,是提高效率的重要方式。
现有排布基础为单工站的排布,即一条托盘传输线对应一条载具传输线。且T字型排布的方式,让两个角的空间利用效率感并非太高。
实用新型内容
为解决上述技术问题,本实用新型提供一种将芯片从托盘转移至载具的双站式系统。空间合理利用,作业效率的提升。
本实用新型提供如下技术方案:
一种将芯片从托盘转移至载具的双站式系统,包括两个载具下料工站、两个载具上料工站、两组托盘上料工位和两组托盘下料工位,两个载具下料工站和两组托盘上、下料工位设置在系统的两侧,两个载具上料工站设置在系统的中心,两组托盘上料工位和两组托盘下料工位相对设置。
进一步的,两个载具下料工站包括第一载具下料工站和第二载具下料工站。
进一步的,两个载具上料工站包括第一载具上料工站和第二载具上料工站,第一载具上料工站和第二载具上料工站前后布置。
进一步的,两组托盘上料工位包括第一托盘上料工位和第二托盘上料工位,第一托盘上料工位和第二托盘上料工位并列设置。
进一步的,两组托盘下料工位包括第一托盘下料工位和第二托盘下料工位,第一托盘下料工位和第二托盘下料工位并列设置。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
在原有排布基础上,将T字形的两个缺角空间进行空间利用,将缺角部分利用或者降低无用空间占比。实现效益空间内的双工站排布方式,直接体现在作业效率的提升。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图。
图2为本实用新型的主视图。
图中:1、第一载具下料工站;2、第二载具下料工站;3、第一载具上料工站;4、第二载具上料工站;5、第一托盘上料工位;6、第二托盘上料工位;7、第一托盘下料工位;8、第二托盘下料工位。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没
有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1和2,一种将芯片从托盘转移至载具的双站式系统,包括两个载具下料工站、两个载具上料工站、两组托盘上料工位和两组托盘下料工位,两个载具下料工站和两组托盘上、下料工位设置在系统的两侧,两个载具上料工站设置在系统的中心,两组托盘上料工位和两组托盘下料工位相对设置。
两个载具下料工站包括第一载具下料工站1和第二载具下料工站2。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造