[实用新型]探针清理机构及包括该机构的探针台

权利要求书

1.一种探针清理机构，其特征在于，包括：

支架；

定位调节板，于所述支架的上方设置，其下端面上沿着长度或宽度方向设置有第一定位面和第二定位面，且所述第一定位面低于所述第二定位面；

定位板，设置在所述支架上，其上表面上设置有定位部，所述定位板被驱动沿着所述长度或宽度方向水平移动使所述定位部与所述第一定位面或所述第二定位面正对，所述定位调节板被驱动上下移动使所述定位部与所述第一定位面抵触以确定所述定位调节板的清针位置，或与所述第二定位面抵触以确定所述定位调节板的非清针位置。

2.根据权利要求1所述的探针清理机构，其特征在于，所述定位调节板的下表面上设置有第一定位槽和第二定位槽，所述第一定位面是所述第一定位槽的底面，所述第二定位面是所述第二定位槽的底面，所述定位部为凸起的定位块，所述定位块设置在所述第一定位槽或所述第二定位槽中。

3.根据权利要求1或2所述的探针清理机构，其特征在于，还包括：

支撑板，设置在所述支架和所述定位调节板之间，并与所述支架固连；

竖直驱动组件，用于驱动所述定位调节板上下运动，所述竖直驱动组件包括第一直线驱动器，所述第一直线驱动器与所述定位调节板固连，设置在所述支撑板上。

4.根据权利要求3所述的探针清理机构，其特征在于，还包括竖直导向组件，所述竖直导向组件包括与所述定位调节板的下表面固连的若干导向柱，穿过所述支撑板并与其固连的若干滑动套，所述滑动套与所述导向柱一一对应且两者滑动连接。

5.根据权利要求3所述的探针清理机构，其特征在于，还包括水平驱动组件，用于驱动所述定位板水平移动，所述水平驱动组件包括第二直线驱动器，所述第二直线驱动器设在所述支撑板上并与所述定位板固连。

6.根据权利要求5所述的探针清理机构，其特征在于，

所述第一直线驱动器为伸出杆向上伸出的竖直气缸，所述竖直气缸的所述伸出杆穿过所述支撑板后与所述定位调节板固连；

所述第二直线驱动器为伸出杆沿着所述定位调节板的长度方向水平伸出的水平气缸，所述水平气缸的伸出杆与所述定位板固连。

7.根据权利要求6所述的探针清理机构，其特征在于，还包括水平导向组件，所述水平导向组件包括两个与所述定位调节板的长度方向平行的导轨，所述定位板的底面上设置有与所述导轨匹配的凹槽，所述导轨设置在所述凹槽中。

8.根据权利要求3所述的探针清理机构，其特征在于，还包括调节螺栓，沿其长度其内设置有第一连接通孔，其外设置有外螺纹，所述支撑板上设置有第二螺纹通孔，所述支架上设置有第三螺纹孔，所述调节螺栓于所述支撑板的下方设置在所述第三螺纹孔内并可调节设置在所述第三螺纹孔内的长度，所述支撑板和所述支架通过所述第二螺纹通孔、所述第一连接通孔和所述第三螺纹孔可拆卸性连接。

9.根据权利要求1所述的探针清理机构，其特征在于，还包括清针板，设置在所述定位调节板上。

10.根据权利要求1所述的探针清理机构，其特征在于，所述支架设置在Z轴运动机构上，并被其驱动上下运动。

11.一种探针台，其特征在于，其包括根据权利要求1至10任一项所述的探针清理机构。