[实用新型]一种微电子器件生产用干燥装置有效
申请号: | 202121518039.4 | 申请日: | 2021-07-06 |
公开(公告)号: | CN216308480U | 公开(公告)日: | 2022-04-15 |
发明(设计)人: | 刘翠翠 | 申请(专利权)人: | 海安绒克纺织有限公司 |
主分类号: | F26B11/18 | 分类号: | F26B11/18;F26B21/00;F26B25/00;F26B25/02;F26B25/04 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 226000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 微电子 器件 生产 干燥 装置 | ||
1.一种微电子器件生产用干燥装置,包括底座(1)和电磁阀(9),其特征在于,所述底座(1)的顶部左侧安装有电动伸缩杆(2),所述电动伸缩杆(2)的输出端安装有横板(3),所述横板(3)的底部安装有框架(11),所述框架(11)的内侧壁顶部安装有电机(5),所述电机(5)的输出端安装有扇叶(10),所述框架(11)的底部安装有加热丝(12),所述底座(1)的顶部安装有支架(4),所述支架(4)的顶部安装有输送履带(6),所述输送履带(6)的顶部安装有承载台(7),所述承载台(7)的内侧壁左侧安装有轴承(13),所述承载台(7)的外侧壁右侧安装有旋转气缸(16),所述轴承(13)的内侧壁安装有弹簧杆(14),所述弹簧杆(14)有两组呈对称安装在旋转气缸(16)的输出端,所述弹簧杆(14)的另一端安装有夹板(15)。
2.根据权利要求1所述的一种微电子器件生产用干燥装置,其特征在于,所述底座(1)的外侧壁安装有控制面板(8)。
3.根据权利要求1所述的一种微电子器件生产用干燥装置,其特征在于,所述底座(1)的外侧壁右侧安装有电磁阀(9),所述电磁阀(9)的输出端与旋转气缸(16)的输入端气动连接。
4.根据权利要求1或2所述的一种微电子器件生产用干燥装置,其特征在于,所述电磁阀(9)的输入端、电机(5)的输入端和加热丝(12)的输入端均与控制面板(8)的输出端电性连接。
5.根据权利要求2所述的一种微电子器件生产用干燥装置,其特征在于,所述控制面板(8)的输入端与外部电源的输出端电性连接。
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