[实用新型]一种抛光石英晶片浅划痕检测装置

权利要求书

1.一种抛光石英晶片浅划痕检测装置，包括工作台(1)、用来对晶片(19)进行拍照检测的相机(50)、用来放置晶片(19)的晶片放置台(16)，所述晶片放置台(16)设置在工作台(1)的上方，所述相机(50)设置在晶片放置台(16)的上方，其特征在于：所述工作台(1)的上方设置有用来控制晶片放置台(16)沿着工作台(1)长度方向移动的横向平移机构、用来控制晶片放置台(16)沿着工作台(1)宽度方向移动的纵向平移机构、用来控制相机(50)进行竖直移动的竖直移动机构、用来对晶片放置台(16)上方的晶片(19)进行夹紧的晶片夹紧机构。

2.根据权利要求1所述的一种抛光石英晶片浅划痕检测装置，其特征在于：所述纵向平移机构包括第一横板(3)、第二横板(4)、承重板(6)，所述第一横板(3)与第二横板(4)分别固定安装在工作台(1)的前后两端，所述第一横板(3)的长度方向、第二横板(4)的长度方向与工作台(1)的宽度方向呈平行设置，所述承重板(6)的长度方向与工作台(1)的长度方向呈平行设置，所述承重板(6)与第一横板(3)滑动连接，所述承重板(6)与第二横板(4)滑动连接。

3.根据权利要求2所述的一种抛光石英晶片浅划痕检测装置，其特征在于：所述第一横板(3)和第二横板(4)相对的两个面均设置有与承重板(6)端部相匹配的第一滑槽(5)。

4.根据权利要求1所述的一种抛光石英晶片浅划痕检测装置，其特征在于：所述横向平移机构包括设置在承重板(6)和晶片放置台(16)之间的底板(13)，所述底板(13)的长度方向与承重板(6)的长度方向呈垂直设置，所述底板(13)与承重板(6)滑动连接，所述晶片放置台(16)的下部与底板(13)的中部固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种抛光石英晶片浅划痕检测装置，其特征在于：所述底板(13)的下端面设置有沿着底板(13)宽度方向设置的凸块，所述承重板(6)的中段设置有与凸块相匹配的凹槽，所述凹槽沿着承重板(6)的长度方向设置。

6.根据权利要求1所述的一种抛光石英晶片浅划痕检测装置，其特征在于：所述晶片夹紧机构包括设置在晶片放置台(16)一侧的晶片压紧装置(14)和设置在晶片放置台(16)另一侧的晶片侧挡装置，所述晶片压紧装置(14)包括固定安装在底板(13)一端的第三立板(147)、第二连接杆(142)、挤压板(143)、弹簧(144)和圆盘(141)，所述第三立板(147)的一侧开设有圆孔(145)，所述第三立板(147)的另一侧开设有与圆孔(145)相连通的圆槽(146)，所述第二连接杆(142)的尾端穿过圆孔(145)且第二连接杆(142)的尾端与位于圆槽(146)内部的圆盘(141)固定连接，所述第二连接杆(142)的首端与挤压板(143)的尾端固定连接，所述弹簧(144)套设在第二连接杆(142)的外部且弹簧(144)位于挤压板(143)与第三立板(147)之间。

7.根据权利要求6所述的一种抛光石英晶片浅划痕检测装置，其特征在于：所述晶片侧挡装置包括固定安装在底板(13)另一端的第二立板(15)、第一连接杆(17)和挡板(18)，所述第二立板(15)靠近晶片放置台(16)的一侧与第一连接杆(17)的一端固定连接，所述第一连接杆(17)的另一端与挡板(18)固定连接。

8.根据权利要求7所述的一种抛光石英晶片浅划痕检测装置，其特征在于：所述竖直移动机构包括固定安装在第一横板(3)中部的第一立板(7)、滑板(9)、连接板(10)，所述第一立板(7)的下端与第一横板(3)的中部固定连接，所述第一立板(7)的侧壁设置有与滑板(9)尾端相匹配的第二滑槽(8)，所述滑板(9)的尾端与第一立板(7)滑动连接，所述滑板(9)的首端与连接板(10)固定连接，所述连接板(10)的下部与相机(50)固定连接，所述滑板(9)的长度方向与第一立板(7)的高度方向呈垂直设置。

9.根据权利要求1所述的一种抛光石英晶片浅划痕检测装置，其特征在于：所述工作台(1)的底部四角处分别固定安装有桌腿(2)。