[实用新型]一种片上电阻有效

专利信息
申请号: 202121497140.6 申请日: 2021-07-02
公开(公告)号: CN216015364U 公开(公告)日: 2022-03-11
发明(设计)人: 应子罡;徐秀波;李广辉;吴宗桂;杨丽丽;张雄波 申请(专利权)人: 北京国科天迅科技有限公司
主分类号: H01L23/64 分类号: H01L23/64
代理公司: 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人: 王毅
地址: 100744 北京市大兴区北京经*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 电阻
【说明书】:

本实用新型提供一种片上电阻,涉及电阻技术领域,所述片上电阻包括具有第一宽度的多晶硅层;其中,所述第一宽度为0.18um,本实用新型通过创造性地将多晶硅电阻宽度尺寸由现有技术中的1um减小到有源管的最小栅宽尺寸0.18um,大大降低了片上电阻的面积。即利用了有源管的最小栅宽尺寸实现的更小宽度的多晶硅电阻,同片外方案相比,使得直流失调消除相应的电路减小了4个芯片管脚和两个片外电容,同片上方案相比,片上电阻面积至少减小到原来的1/3。

技术领域

本实用新型涉及电阻技术领域,尤其涉及一种片上电阻。

背景技术

在射频通信集成电路系统中,零中频接收机的构架以其成本低、集成度高的优点被广泛的应用,而所有的零中频接收机都会面临直流失调消除(DC Offset Cancellation,DCOC)的问题,DCOC需要对输入信号IN进行高通滤波得到输出信号OUT。

如图1所示,现有技术中,利用电阻-电容(Resistor-Capacitance circuit,RC)电路的时间常数决定滤波器的截至带宽f=1/(2·pi·R·C)。为了减小对信号的影响,截至带宽甚至在KHz量级。以前选取大的电容,并放在片外实现,由于需要同相通道(in-phase)、正交(quadrature) 通道即IQ两路通道,因此至少增加4个芯片管脚和两个片外电容。为了在芯片上实现集成,片上电容只能选择pF级的,那么电阻也只能选择百兆欧姆级的。

以CMOS 0.18um工艺为例,其中高密度电阻的实现方式主要有三种:扩散电阻、多晶硅(polysilicon,poly)电阻和阱电阻,为了实现100兆欧姆的电阻,这三种电阻会占用的面积都会非常大:扩散电阻面积为2200um2、poly电阻面积为3800um2、阱电阻面积为4200um2。由于DCOC中的片上电阻和片上电容至少一个的数值会很大,这样不易于集成化,为了实现片上电阻和片上电容的集成化,可以采用的一种方案是选用电容值较小的电容和阻值较大的电阻,又因为电阻阻值=电阻长度/电阻宽度,根据相应规则,扩散电阻最的小宽度为 0.42um,poly电阻的最小宽度为1um,阱电阻的最小宽度为2.1um。为了减小片上电阻面积以及得到更大阻值的片上电阻,因此需要要在现有技术上进一步减小片上电阻的宽度。

实用新型内容

本实用新型提供一种片上电阻,用以解决现有技术中片上电阻面积较大的缺陷,实现采用更小宽度的片上电阻,进而大大减小了电阻面积。

本实用新型提供一种片上电阻,所述片上电阻包括:

具有第一宽度的多晶硅层;其中,所述第一宽度为0.18um。

根据本发明提供的一种片上电阻,所述多晶硅层设置为条状,多晶硅层具有长度延伸方向和宽度延伸方向,多晶硅层在宽度方向上的尺寸为所述第一宽度。

根据本发明提供的一种片上电阻,所述多晶硅层设置在具有第二宽度的衬底上,所述衬底设置为条状,衬底为P型衬底且进行P型扩散,所述第二宽度覆盖所述第一宽度。

根据本发明提供的一种片上电阻,所述衬底与所述多晶硅层在宽度方向上的距离L1不小于0.18um。

根据本发明提供的一种片上电阻,所述距离L1为0.18um。

根据本发明提供的一种片上电阻,多晶硅层在宽度方向上的两端设有接触孔,多晶硅层通过所述接触孔与金属线层连接,接触孔设置为矩形状,接触孔的长度和宽度均为0.22um。

根据本发明提供的一种片上电阻,所述接触孔与所述多晶硅层在宽度方向上的距离L2不小于0.04um,接触孔与多晶硅层在长度方向上的距离L3不小于0.04um。

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