[实用新型]FBAR滤波器及滤波器组件

说明书

本实用新型涉及滤波器技术领域，提供了一种FBAR滤波器及滤波器组件，上述滤波器包括：输入端、输出端、接地端、多个串臂谐振器和多个并臂谐振器；多个串臂谐振器包括依次串联连接在输入端和输出端之间的第一谐振器至第七谐振器；多个并臂谐振器包括：第八谐振器、第九谐振器及第十谐振器；第八谐振器，第一端与第二谐振器和第三谐振器的连接点连接，第二端与接地端连接；第九谐振器，第一端与第四谐振器和第五谐振器的连接点连接，第二端与接地端连接；第十谐振器，第一端与第六谐振器和第七谐振器的连接点连接，第二端与接地端连接。上述滤波器可允许特定频率的信号通过。

技术领域

本实用新型属于滤波器技术领域，尤其涉及一种FBAR滤波器及滤波器组件。

背景技术

近年来，随着5G无线通信技术的不断发展，通过利用更高频段以及频段重组来实现移动通信，这对相关射频元器件的微型化、高频带宽化、集成化及柔性化提出了越来越高的要求。

薄膜体声波谐振器(Film Bulk Acoustic Resonator，FBAR)滤波器凭借其尺寸小、谐振频率高、品质因数高、功率容量大、滚降效应好等优良特性，正逐步取代传统的声表面波滤波器和陶瓷滤波器，在射频滤波器领域占有越来越大的市场份额，在5G无线通信射频领域发挥着巨大作用。

然而目前对FBAR滤波器的研究大多集中在制备方法上，对FBAR滤波器的具体结构的研究较少。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型实施例提供一种FBAR滤波器及滤波器组件，以提供一种FBAR滤波器的新型结构。

本实用新型实施例第一方面提供了一种FBAR滤波器，包括：输入端、输出端、接地端、多个串臂谐振器和多个并臂谐振器；

多个串臂谐振器包括：依次串联连接在输入端和输出端之间的第一谐振器、第二谐振器、第三谐振器、第四谐振器、第五谐振器、第六谐振器及第七谐振器；

多个并臂谐振器包括：第八谐振器、第九谐振器及第十谐振器；

第八谐振器，第一端与第二谐振器和第三谐振器的连接点连接，第二端与接地端连接；

第九谐振器，第一端与第四谐振器和第五谐振器的连接点连接，第二端与接地端连接；

第十谐振器，第一端与第六谐振器和第七谐振器的连接点连接，第二端与接地端连接。

可选的，多个串臂谐振器的串联谐振频率和并联谐振频率相同。

可选的，多个并臂谐振器的串联谐振频率和并联谐振频率相同。

可选的，多个串臂谐振器的串联谐振频率与多个并臂谐振器的并联谐振频率相同。

可选的，第一谐振器、第二谐振器、第七谐振器及第九谐振器的面积为2970μm²-3030μm²，第三谐振器和第四谐振器的面积为3770μm²-3830μm²，第五谐振器和第六谐振器的面积为3870μm²-3930μm²，第八谐振器和第十谐振器的面积为6850μm²-6950μm²。

可选的，FBAR滤波器的版图自下而上依次包括：牺牲层、下电极层、上电极层、差频层及孔层；

差频层与第一类谐振器对应，第二类谐振器不具有差频层；差频层用于产生第一类谐振器与第二类谐振器之间的频率差；其中，第一类谐振器为多个串臂谐振器及多个并臂谐振器中的至少一个，第二类谐振器也为多个串臂谐振器及多个并臂谐振器中的至少一个；

孔层中开设有多个释放孔，每个谐振器均设有多个释放通道，每个释放通道至少对应一个释放孔。