[实用新型]FBAR滤波器及滤波器组件

权利要求书

1.一种FBAR滤波器，其特征在于，包括：输入端、输出端、接地端、多个串臂谐振器和多个并臂谐振器；

所述多个串臂谐振器包括：依次串联连接在所述输入端和所述输出端之间的第一谐振器、第二谐振器、第三谐振器、第四谐振器、第五谐振器、第六谐振器及第七谐振器；

所述多个并臂谐振器包括：第八谐振器、第九谐振器及第十谐振器；

所述第八谐振器，第一端与所述第二谐振器和所述第三谐振器的连接点连接，第二端与所述接地端连接；

所述第九谐振器，第一端与所述第四谐振器和所述第五谐振器的连接点连接，第二端与所述接地端连接；

所述第十谐振器，第一端与所述第六谐振器和所述第七谐振器的连接点连接，第二端与所述接地端连接。

2.如权利要求1所述的FBAR滤波器，其特征在于，所述多个串臂谐振器的串联谐振频率和并联谐振频率相同。

3.如权利要求1所述的FBAR滤波器，其特征在于，所述多个并臂谐振器的串联谐振频率和并联谐振频率相同。

4.如权利要求1至3任一项所述的FBAR滤波器，其特征在于，所述多个串臂谐振器的串联谐振频率与所述多个并臂谐振器的并联谐振频率相同。

5.如权利要求1至3任一项所述的FBAR滤波器，其特征在于，所述第一谐振器、所述第二谐振器、所述第七谐振器及所述第九谐振器的面积为2970μm²-3030μm²，所述第三谐振器和所述第四谐振器的面积为3770μm²-3830μm²，所述第五谐振器和所述第六谐振器的面积为3870μm²-3930μm²，所述第八谐振器和所述第十谐振器的面积为6850μm²-6950μm²。

6.如权利要求1至3任一项所述的FBAR滤波器，其特征在于，所述FBAR滤波器的版图自下而上依次包括：牺牲层、下电极层、上电极层、差频层及孔层；

所述差频层与第一类谐振器对应，第二类谐振器不具有所述差频层；所述差频层用于产生所述第一类谐振器与所述第二类谐振器之间的频率差；其中，所述第一类谐振器为所述多个串臂谐振器及所述多个并臂谐振器中的至少一个，所述第二类谐振器也为所述多个串臂谐振器及所述多个并臂谐振器中的至少一个；

所述孔层中开设有多个释放孔，每个谐振器均设有多个释放通道，每个所述释放通道至少对应一个释放孔。

7.如权利要求6所述的FBAR滤波器，其特征在于，所述第一类谐振器包括：所述第八谐振器、所述第九谐振器及所述第十谐振器；

所述第二类谐振器包括：所述第一谐振器、所述第二谐振器、所述第三谐振器、所述第四谐振器、所述第五谐振器、所述第六谐振器及所述第七谐振器。

8.如权利要求6所述的FBAR滤波器，其特征在于，所述上电极层的厚度为所述下电极层的厚度为所述差频层的厚度为所述释放孔的直径为15μm-25μm；

所述滤波器的压电层的厚度为

9.如权利要求6所述的FBAR滤波器，其特征在于，所述第八谐振器和所述第十谐振器位于所述输入端和所述输出端所在直线的一侧，所述第九谐振器位于所述直线的另一侧；

所述第一谐振器至所述第七谐振器中相邻的任意三个谐振器的中心连线均构成V字型，相邻两个V字型的开口朝向相反。

10.一种FBAR滤波器组件，其特征在于，包括如权利要求1至9任一项所述的FBAR滤波器。