[实用新型]一种多弧离子镀膜设备中模具镀膜用双层公转架有效
| 申请号: | 202121472612.2 | 申请日: | 2021-06-30 |
| 公开(公告)号: | CN215050649U | 公开(公告)日: | 2021-12-07 |
| 发明(设计)人: | 李向周 | 申请(专利权)人: | 浙江摩鼎纳米科技有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/32 | 分类号: | C23C14/32;C23C14/50 |
| 代理公司: | 杭州山泰专利代理事务所(普通合伙) 33438 | 代理人: | 周玲 |
| 地址: | 310000 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 离子 镀膜 设备 模具 双层 公转 | ||
本实用新型公开了一种多弧离子镀膜设备中模具镀膜用双层公转架,包括底层公转盘和顶层公转盘,所述底层公转盘顶部固定安装有第二轴套,所述顶层公转盘底部固定安装有第一轴套,所述第一轴套内开设有圆槽,所述第二轴套顶部固定安装有插入圆槽的固定轴,所述固定轴内开设有多个定位孔。本实用新型中,拆下定位销,使定位销离开限位孔和定位孔,向上移动第一轴套,固定轴在圆槽内滑动,待下一个定位孔运动至限位孔处时,安装定位销使其插入限位孔和定位孔,将第一轴套固定安装,增加了双层公转架的高度,同理,可以减少双层公转架的高度,可以根据需要调节双层公转架的高度,适用于不同高度的镀膜设备,便于装置的使用。
技术领域
本实用新型涉及公转架技术领域,尤其涉及一种多弧离子镀膜设备中模具镀膜用双层公转架。
背景技术
多弧离子镀是采用电弧放电的方法,在固体的阴极靶材上直接蒸发金属,蒸发物是从阴极弧光辉点放出的阴极物质的离子,从而在基材表面沉积成为薄膜的方法,现有的多弧离子镀膜设备在使用时需要使用公转架。
现有授权公告号为CN209194039U,专利名称为:一种多弧离子镀膜设备中模具镀膜用双层公转架,包括底层公转盘、顶层公转盘和轴套,底层公转盘和顶层公转盘与轴套固定安装,然而,不同高度的镀膜设备所需要双层公转架高度不同,现有技术中的双层公转架是一体化结构,轴套的长度不可调节,不能根据需要调节双层公转架的高度,不便于装置的使用。
实用新型内容
为了解决不同高度的镀膜设备所需要双层公转架高度不同,现有技术中的双层公转架是一体化结构,轴套的长度不可调节,不能根据需要调节双层公转架的高度,不便于装置使用的问题,而提出的一种多弧离子镀膜设备中模具镀膜用双层公转架。
为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:
一种多弧离子镀膜设备中模具镀膜用双层公转架,包括底层公转盘和顶层公转盘,所述底层公转盘顶部固定安装有第二轴套,所述顶层公转盘底部固定安装有第一轴套,所述第一轴套内开设有圆槽,所述第二轴套顶部固定安装有插入圆槽的固定轴,所述固定轴内开设有多个定位孔,所述第一轴套上开设有限位孔,所述第一轴套内设有穿过限位孔和定位孔的定位销,所述底层公转盘底部固定安装有运动块。
作为上述技术方案的进一步描述:
所述底层公转盘底部固定安装有多个固定柱,所述底层公转盘底部开设有多个凹台。
作为上述技术方案的进一步描述:
所述第一轴套上固定安装有多个第一加强筋,多个所述第一加强筋绕第一轴套的轴线在第一轴套上等角度设置,所述第一加强筋与顶层公转盘固定安装。
作为上述技术方案的进一步描述:
所述第二轴套上固定安装有多个第二加强筋,多个所述第二加强筋绕第二轴套的轴线在第二轴套上等角度设置,所述第二加强筋与底层公转盘固定安装。
作为上述技术方案的进一步描述:
所述第一轴套内开设有与圆槽连通的安装槽,所述安装槽内转动安装有多个与固定轴外表壁滚动接触的转动球。
作为上述技术方案的进一步描述:
多个所述转动球在安装槽内等间距设置。
作为上述技术方案的进一步描述:
所述第一加强筋焊接在第一轴套上,所述第二加强筋焊接在第二轴套上。
综上所述,由于采用了上述技术方案,本实用新型的有益效果是:
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