[实用新型]一种多弧离子镀膜设备中模具镀膜用双层公转架有效

专利信息
申请号: 202121472612.2 申请日: 2021-06-30
公开(公告)号: CN215050649U 公开(公告)日: 2021-12-07
发明(设计)人: 李向周 申请(专利权)人: 浙江摩鼎纳米科技有限公司
主分类号: C23C14/32 分类号: C23C14/32;C23C14/50
代理公司: 杭州山泰专利代理事务所(普通合伙) 33438 代理人: 周玲
地址: 310000 浙*** 国省代码: 浙江;33
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 离子 镀膜 设备 模具 双层 公转
【说明书】:

本实用新型公开了一种多弧离子镀膜设备中模具镀膜用双层公转架,包括底层公转盘和顶层公转盘,所述底层公转盘顶部固定安装有第二轴套,所述顶层公转盘底部固定安装有第一轴套,所述第一轴套内开设有圆槽,所述第二轴套顶部固定安装有插入圆槽的固定轴,所述固定轴内开设有多个定位孔。本实用新型中,拆下定位销,使定位销离开限位孔和定位孔,向上移动第一轴套,固定轴在圆槽内滑动,待下一个定位孔运动至限位孔处时,安装定位销使其插入限位孔和定位孔,将第一轴套固定安装,增加了双层公转架的高度,同理,可以减少双层公转架的高度,可以根据需要调节双层公转架的高度,适用于不同高度的镀膜设备,便于装置的使用。

技术领域

本实用新型涉及公转架技术领域,尤其涉及一种多弧离子镀膜设备中模具镀膜用双层公转架。

背景技术

多弧离子镀是采用电弧放电的方法,在固体的阴极靶材上直接蒸发金属,蒸发物是从阴极弧光辉点放出的阴极物质的离子,从而在基材表面沉积成为薄膜的方法,现有的多弧离子镀膜设备在使用时需要使用公转架。

现有授权公告号为CN209194039U,专利名称为:一种多弧离子镀膜设备中模具镀膜用双层公转架,包括底层公转盘、顶层公转盘和轴套,底层公转盘和顶层公转盘与轴套固定安装,然而,不同高度的镀膜设备所需要双层公转架高度不同,现有技术中的双层公转架是一体化结构,轴套的长度不可调节,不能根据需要调节双层公转架的高度,不便于装置的使用。

实用新型内容

为了解决不同高度的镀膜设备所需要双层公转架高度不同,现有技术中的双层公转架是一体化结构,轴套的长度不可调节,不能根据需要调节双层公转架的高度,不便于装置使用的问题,而提出的一种多弧离子镀膜设备中模具镀膜用双层公转架。

为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:

一种多弧离子镀膜设备中模具镀膜用双层公转架,包括底层公转盘和顶层公转盘,所述底层公转盘顶部固定安装有第二轴套,所述顶层公转盘底部固定安装有第一轴套,所述第一轴套内开设有圆槽,所述第二轴套顶部固定安装有插入圆槽的固定轴,所述固定轴内开设有多个定位孔,所述第一轴套上开设有限位孔,所述第一轴套内设有穿过限位孔和定位孔的定位销,所述底层公转盘底部固定安装有运动块。

作为上述技术方案的进一步描述:

所述底层公转盘底部固定安装有多个固定柱,所述底层公转盘底部开设有多个凹台。

作为上述技术方案的进一步描述:

所述第一轴套上固定安装有多个第一加强筋,多个所述第一加强筋绕第一轴套的轴线在第一轴套上等角度设置,所述第一加强筋与顶层公转盘固定安装。

作为上述技术方案的进一步描述:

所述第二轴套上固定安装有多个第二加强筋,多个所述第二加强筋绕第二轴套的轴线在第二轴套上等角度设置,所述第二加强筋与底层公转盘固定安装。

作为上述技术方案的进一步描述:

所述第一轴套内开设有与圆槽连通的安装槽,所述安装槽内转动安装有多个与固定轴外表壁滚动接触的转动球。

作为上述技术方案的进一步描述:

多个所述转动球在安装槽内等间距设置。

作为上述技术方案的进一步描述:

所述第一加强筋焊接在第一轴套上,所述第二加强筋焊接在第二轴套上。

综上所述,由于采用了上述技术方案,本实用新型的有益效果是:

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江摩鼎纳米科技有限公司,未经浙江摩鼎纳米科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202121472612.2/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top