[实用新型]一种多弧离子镀膜设备中模具镀膜用双层公转架有效
| 申请号: | 202121472612.2 | 申请日: | 2021-06-30 |
| 公开(公告)号: | CN215050649U | 公开(公告)日: | 2021-12-07 |
| 发明(设计)人: | 李向周 | 申请(专利权)人: | 浙江摩鼎纳米科技有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/32 | 分类号: | C23C14/32;C23C14/50 |
| 代理公司: | 杭州山泰专利代理事务所(普通合伙) 33438 | 代理人: | 周玲 |
| 地址: | 310000 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 离子 镀膜 设备 模具 双层 公转 | ||
1.一种多弧离子镀膜设备中模具镀膜用双层公转架,包括底层公转盘(1)和顶层公转盘(2),其特征在于,所述底层公转盘(1)顶部固定安装有第二轴套(4),所述顶层公转盘(2)底部固定安装有第一轴套(3),所述第一轴套(3)内开设有圆槽(301),所述第二轴套(4)顶部固定安装有插入圆槽(301)的固定轴(9),所述固定轴(9)内开设有多个定位孔(901),所述第一轴套(3)上开设有限位孔(302),所述第一轴套(3)内设有穿过限位孔(302)和定位孔(901)的定位销(8),所述底层公转盘(1)底部固定安装有运动块(5)。
2.根据权利要求1所述的一种多弧离子镀膜设备中模具镀膜用双层公转架,其特征在于,所述底层公转盘(1)底部固定安装有多个固定柱(11),所述底层公转盘(1)底部开设有多个凹台(12)。
3.根据权利要求2所述的一种多弧离子镀膜设备中模具镀膜用双层公转架,其特征在于,所述第一轴套(3)上固定安装有多个第一加强筋(6),多个所述第一加强筋(6)绕第一轴套(3)的轴线在第一轴套(3)上等角度设置,所述第一加强筋(6)与顶层公转盘(2)固定安装。
4.根据权利要求3所述的一种多弧离子镀膜设备中模具镀膜用双层公转架,其特征在于,所述第二轴套(4)上固定安装有多个第二加强筋(7),多个所述第二加强筋(7)绕第二轴套(4)的轴线在第二轴套(4)上等角度设置,所述第二加强筋(7)与底层公转盘(1)固定安装。
5.根据权利要求4所述的一种多弧离子镀膜设备中模具镀膜用双层公转架,其特征在于,所述第一轴套(3)内开设有与圆槽(301)连通的安装槽(303),所述安装槽(303)内转动安装有多个与固定轴(9)外表壁滚动接触的转动球(10)。
6.根据权利要求5所述的一种多弧离子镀膜设备中模具镀膜用双层公转架,其特征在于,多个所述转动球(10)在安装槽(303)内等间距设置。
7.根据权利要求6所述的一种多弧离子镀膜设备中模具镀膜用双层公转架,其特征在于,所述第一加强筋(6)焊接在第一轴套(3)上,所述第二加强筋(7)焊接在第二轴套(4)上。
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