[实用新型]一种用于高频感应单晶炉坩埚的升降装置

说明书

本实用新型公开了一种用于高频感应单晶炉坩埚的升降装置，包括保温壳，所述保温壳的上表面固定连接有连接套，所述连接套的上表面固定连接有副室，所述副室的上表面固定连接有上传动装置，所述保温壳的下表面固定连接有分隔板，所述分隔板的下表面固定连接有传动室，所述传动室的下表面固定连接有配重板，所述保温壳的内部固定连接有加热器，所述保温壳的的内部固定连接有炉底护盘，所述炉底护盘与分隔板之间形成隔温室，本实用新型通过上述等结构的配合，实现了具备使加工中的原料的加热时间始终保持一致，能够防止在工作过程中由于高温导致气动杆的活动端变干，造成活动不顺的优点，给实际使用带来了一定的有利影响。

技术领域

本实用新型涉及单晶炉技术领域，具体为一种用于高频感应单晶炉坩埚的升降装置。

背景技术

石英坩埚具有纯度高、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点，应用越来越广泛，石英坩埚是生产单晶硅的单晶炉中的重要部件。然而，现有的单晶炉中，石英坩埚固定安装在单晶炉内，石英坩埚在竖直方向的高度无法进行调节,在工作过程中原料的高度随着时间会变低，会造成单晶加热时间越来越长，单晶炉内的气动杆在高温下润滑油被烤干造成气动杆活动不顺畅，给实际使用带来了一定的不利影响，因此需要进行改进。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于高频感应单晶炉坩埚的升降装置，具备使加工中的原料的加热时间始终保持一致，能够防止在工作过程中由于高温导致气动杆的活动端变干，造成活动不顺的优点，给实际使用带来了一定的有利影响，解决了以上背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于高频感应单晶炉坩埚的升降装置，包括保温壳，所述保温壳的上表面固定连接有连接套，所述连接套的上表面固定连接有副室，所述副室的上表面固定连接有上传动装置，所述保温壳的下表面固定连接有分隔板，所述分隔板的下表面固定连接有传动室，所述传动室的下表面固定连接有配重板，所述保温壳的内部固定连接有加热器，所述保温壳的的内部固定连接有炉底护盘，所述炉底护盘与分隔板之间形成隔温室。

优选的，所述传动室的上表面固定连接有气动杆，所述气动杆的上表面贯穿炉底护盘固定连接有坩埚，所述坩埚的内部装有原料，所述原料的上表面形成单晶棒，所述单晶棒的上表面形成籽晶。

优选的，所述传动室的下表面固定连接有油箱，所述油箱的右表面固定连接油泵，所述油泵的输出端固定连接有输油管，所述输油管的右端与气动杆的左表面固定连接，且输油管的出口位于气动杆活动端。

优选的，所述保温壳的右表面固定连接有气缸，所述气缸的左表面固定连接有气管，所述气管的左表面与气动杆的右表面固定连接。

优选的，所述保温壳的前面固定连接有控制箱。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过气管的设置能够将气体送入气动杆，从而使气动杆向上伸长，从而带动坩埚向上移动，通过坩埚的向上移动，能够控制单晶炉对原料的加热时间，使加工过程中的原料加热时间一致，防止了因为加热时间不均匀导致单晶生产的质量出现不一致，工作人员在油箱内添加润滑油，通过输油管的设置能够将润滑油根据设定的值滴入气动管的活动端，防止了在高温中工作气动杆的活动端被高温烤干，造成气动杆无法顺畅活动，影响加工的质量。

附图说明

图1为本实用新型主视图；

图2为本实用新型保温壳剖面图；

图3为本实用新型保温壳和加热器俯视图。

图中：1、保温壳；2、连接套；3、副室；4、上传动装置；5、分隔板；6、传动室；7、配重板；8、炉底护盘；9、隔温室；10、气动杆；11、坩埚；12、原料；13、单晶棒；14、籽晶；15、油箱；16、油泵；17、输油管；18、气缸；19、气管；20、控制箱；21、加热器。

具体实施方式